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1. (WO2018143288) 保持装置

Pub. No.:    WO/2018/143288    International Application No.:    PCT/JP2018/003251
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Feb 01 00:59:59 CET 2018
IPC: H05B 3/02
H01L 21/02
H01L 21/3065
H05B 3/10
H05B 3/74
Applicants: NGK SPARK PLUG CO., LTD.
日本特殊陶業株式会社
Inventors: MIWA, Kaname
三輪 要
Title: 保持装置
Abstract:
本開示の一つの局面における保持装置は、厚み方向の一方に主面を有する保持基板を備えるとともに、前記保持基板の内部に、通電により発熱する発熱部が配置されている。前記発熱部は、前記保持基板の厚み方向と直交する平面方向に配置された複数の第1の発熱体と、前記厚み方向において前記複数の第1の発熱体よりも前記一方の主面側に配置された第2の発熱体と、を備えている。前記複数の第1の発熱体のいずれかと前記第2の発熱体とは、前記保持基板内にて前記厚み方向に伸びている第1のビアによって電気的に直列に接続されている。