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1. (WO2018143222) 半導体チップの実装装置および実装方法
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国際公開番号: WO/2018/143222 国際出願番号: PCT/JP2018/003048
国際公開日: 09.08.2018 国際出願日: 30.01.2018
予備審査請求日: 27.11.2018
IPC:
H01L 21/60 (2006.01) ,H01L 21/52 (2006.01) ,H01L 25/065 (2006.01) ,H01L 25/07 (2006.01) ,H01L 25/18 (2006.01) ,H05K 3/32 (2006.01) ,H05K 3/34 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
50
サブグループ21/06~21/326の一つに分類されない方法または装置を用いる半導体装置の組立
60
動作中の装置にまたは装置から電流を流すためのリードまたは他の導電部材の取り付け
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
50
サブグループ21/06~21/326の一つに分類されない方法または装置を用いる半導体装置の組立
52
容器中への半導体本体のマウント
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
25
複数の個々の半導体または他の固体装置からなる組立体
03
すべての装置がグループ27/00~51/00の同じサブグループに分類される型からなるもの,例.整流ダイオードの組立体
04
個別の容器を持たない装置
065
装置がグループ27/00に分類された型からなるもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
25
複数の個々の半導体または他の固体装置からなる組立体
03
すべての装置がグループ27/00~51/00の同じサブグループに分類される型からなるもの,例.整流ダイオードの組立体
04
個別の容器を持たない装置
07
装置がグループ29/00に分類された型からなるもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
25
複数の個々の半導体または他の固体装置からなる組立体
18
装置がグループ27/00~51/00の同じメイングループの2つ以上の異なるサブグループに分類される型からなるもの
H 電気
05
他に分類されない電気技術
K
印刷回路;電気装置の箱体または構造的細部,電気部品の組立体の製造
3
印刷回路を製造するための装置または方法
30
電気部品,例.抵抗器,を印刷回路に取り付けること
32
印刷回路に対する電気部品または電線の電気的接続
H 電気
05
他に分類されない電気技術
K
印刷回路;電気装置の箱体または構造的細部,電気部品の組立体の製造
3
印刷回路を製造するための装置または方法
30
電気部品,例.抵抗器,を印刷回路に取り付けること
32
印刷回路に対する電気部品または電線の電気的接続
34
ハンダ付けによるもの
出願人:
株式会社新川 SHINKAWA LTD. [JP/JP]; 東京都武蔵村山市伊奈平2丁目51番地の1 51-1, Inadaira 2-chome, Musashimurayama-shi, Tokyo 2088585, JP
発明者:
萩原 美仁 HAGIWARA Yoshihito; JP
中村 智宣 NAKAMURA Tomonori; JP
堀部 裕史 HORIBE Hiroshi; JP
代理人:
特許業務法人YKI国際特許事務所 YKI PATENT ATTORNEYS; 東京都武蔵野市吉祥寺本町一丁目34番12号 1-34-12, Kichijoji-Honcho, Musashino-shi, Tokyo 1800004, JP
優先権情報:
2017-01606031.01.2017JP
発明の名称: (EN) SEMICONDUCTOR CHIP MOUNTING APPARATUS AND SEMICONDUCTOR CHIP MOUNTING METHOD
(FR) APPAREIL DE MONTAGE DE PUCE À SEMI-CONDUCTEUR ET PROCÉDÉ DE MONTAGE DE PUCE À SEMI-CONDUCTEUR
(JA) 半導体チップの実装装置および実装方法
要約:
(EN) This mounting apparatus comprises: a bonding head 14 that bonds, while pressing, a semiconductor chip 100 onto a substrate 110 or another semiconductor chip 100; and a heating mechanism 16 that heats the semiconductor chip 100 from the side during the execution of this bonding. After two or more semiconductor chips 100 are stacked while being bonded by temporary pressure-bonding, the bonding head 14 heats and applies pressure to an upper surface of the resultant stacked body, thereby integrally pressure-bonding the two or more semiconductor chips 100, and at the time of this pressure-bonding the heating mechanism 16 heats the stacked body from the side.
(FR) La présente invention concerne un appareil de montage qui comprend : une tête de fixation 14 qui fixe, par pressage, une puce à semi-conducteur 100 sur un substrat 110 ou une autre puce à semi-conducteur 100 ; et un mécanisme de chauffage 16 qui chauffe la puce à semi-conducteur 100 depuis le côté pendant l’exécution de cette fixation. Une fois que deux ou plus de deux puces à semi-conducteur 100 sont empilées en étant fixées par fixation par pression temporaire, la tête de fixation 14 chauffe et applique une pression sur une surface supérieure du corps empilé résultant, de façon à fixer intégralement par pression les deux ou plus de deux puces à semi-conducteur 100, et en même temps que cette fixation par pression, le mécanisme de chauffage 16 chauffe le corps empilé depuis le côté.
(JA) 実装装置は、半導体チップ100を基板110または他の半導体チップ100の上に押圧しながらボンディングするボンディングヘッド14と、前記ボンディング実行時に前記半導体チップ100を側方から加熱する加熱機構16と、を備える。前記ボンディングヘッド14は、2以上の半導体チップ100を仮圧着しながら積層した後、得られた積層体の上面を加熱および加圧することで、前記2以上の半導体チップ100を一括で本圧着し、前記加熱機構16は、前記本圧着の際に、前記積層体を側方から加熱する。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)