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1. (WO2018143130) 基板把持ハンド及び基板搬送装置
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国際公開番号: WO/2018/143130 国際出願番号: PCT/JP2018/002766
国際公開日: 09.08.2018 国際出願日: 29.01.2018
IPC:
H01L 21/677 (2006.01) ,B25J 15/08 (2006.01) ,B65G 49/07 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
B 処理操作;運輸
25
手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ
J
マニプレータ;マニプレータ装置を持つ小室
15
把持部
08
指部材を有するもの
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G
運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;工場コンベヤシステムまたは空気管コンベヤ
49
他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置
05
もろい,または損傷性材料または物品用のもの
07
半導体ウェハーのためのもの
出願人:
川崎重工業株式会社 KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 兵庫県神戸市中央区東川崎町3丁目1番1号 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670, JP
発明者:
吉田 哲也 YOSHIDA, Tetsuya; --
金丸 亮介 KANAMARU, Ryosuke; --
木下 真也 KINOSHITA, Shinya; --
福島 崇行 FUKUSHIMA, Takayuki; --
代理人:
特許業務法人 有古特許事務所 PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE; 兵庫県神戸市中央区東町123番地の1 貿易ビル3階 3rd Fl., Bo-eki Bldg., 123-1, Higashimachi, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500031, JP
優先権情報:
2017-01563331.01.2017JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE-GRIPPING HAND AND SUBSTRATE-CONVEYING DEVICE
(FR) MAIN DE PRÉHENSION DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
(JA) 基板把持ハンド及び基板搬送装置
要約:
(EN) A substrate-gripping hand mounted on a hand end part of a manipulator, the substrate-gripping hand gripping a round disk-shaped substrate that is in a perpendicular or inclined attitude, wherein the substrate-gripping hand comprises: a base plate for which the gripping position is prescribed, expanding to the tip end side from the base end side fixed at the hand end part; an engaging claw provided on the tip end side of the base plate, the engaging claw being able to engage with an edge lower than the center of the substrate in the perpendicular or inclined attitude; a moving part that moves facing the tip end side farther to the base end side than the gripping position; and a plurality of rotators provided at the tip end side of the moving part, the plurality of rotators pressing, by the movement of the moving part, the substrate up to the gripping position while rotating along the edge of the substrate by being pressed on the edge of the substrate in a state engaged with the engaging claw at a position below the gripping position.
(FR) L'invention concerne une main de préhension de substrat montée sur une partie d'extrémité de main d'un manipulateur, la main de préhension de substrat saisissant un substrat en forme de disque rond qui est dans une position perpendiculaire ou inclinée, la main de préhension de substrat comprenant : une plaque de base pour laquelle la position de préhension est prescrite, s'étendant vers le côté d'extrémité de pointe à partir du côté d'extrémité de base fixé au niveau de la partie d'extrémité de main; une griffe de mise en prise disposée sur le côté d'extrémité de pointe de la plaque de base, la griffe de mise en prise étant apte à venir en prise avec un bord inférieur au centre du substrat dans la position perpendiculaire ou inclinée; une partie mobile qui se déplace vers le côté d'extrémité de pointe plus loin vers le côté d'extrémité de base que la position de préhension; et une pluralité de rotateurs disposés sur le côté d'extrémité de pointe de la partie mobile, la pluralité de rotateurs appuyant, par le mouvement de la partie mobile, le substrat jusqu'à la position de préhension tout en tournant le long du bord du substrat en étant pressés sur le bord du substrat dans un état en prise avec la griffe de mise en prise à une position en dessous de la position de préhension.
(JA) 基板把持ハンドは、マニピュレータの手先部に装着されて、垂直又は傾斜姿勢の円板状の基板を把持する基板把持ハンドであって、手先部に固定される基端側から先端側へと広がる、把持位置が規定されたベース板と、ベース板の先端側に設けられ、垂直又は傾斜姿勢の基板の中心よりも下方の縁と係合可能な係合爪と、把持位置よりも基端側において先端側に向かって移動する移動部と、移動部の先端側に設けられ、移動部の移動により、把持位置より下方の位置で係合爪と係合した状態にある基板の縁に対して押圧されることによって、基板の縁に沿って回転しながら、基板を把持位置へ押し上げる複数の回転体と、を備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)