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1. (WO2018143093) 計測装置

Pub. No.:    WO/2018/143093    International Application No.:    PCT/JP2018/002513
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Jan 27 00:59:59 CET 2018
IPC: G01S 7/481
G01C 3/06
G02B 26/10
Applicants: PIONEER CORPORATION
パイオニア株式会社
Inventors: TANAHASHI, Yasuo
棚橋 祥夫
Title: 計測装置
Abstract:
計測装置100は、照射方向を変えながら投射光L1を照射するMEMSミラー4と、1周期内における第1期間に照射された投射光L1を反射する凸面ミラー6Aと、1周期内における第2期間に照射された投射光L1を反射する凹面ミラー6Bとを備える。このとき、凸面ミラー6Aにより反射された投射光L1と、凹面ミラー6Bにより反射された戻り光L2とは、所定方向(Z軸方向)において異なる高さに夫々照射される。