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1. (WO2018143054) 荷電粒子検出器及び荷電粒子線装置

Pub. No.:    WO/2018/143054    International Application No.:    PCT/JP2018/002319
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Jan 26 00:59:59 CET 2018
IPC: H01J 37/244
G01N 23/2258
G01T 1/20
G21K 4/00
H01J 37/28
H01J 49/02
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社日立ハイテクノロジーズ
Inventors: IMAMURA Shin
今村 伸
OHSHIMA Takashi
大嶋 卓
TSUCHIYA Tomonobu
土屋 朋信
KAWANO Hajime
川野 源
HOQUE Shahedul
ホック シャヘドゥル
MIZUTANI Shunsuke
水谷 俊介
SUZUKI Makoto
鈴木 誠
Title: 荷電粒子検出器及び荷電粒子線装置
Abstract:
本開示は、入射電子のエネルギーによらず、安定した強度で発光しつつ、高い発光強度を得るシンチレータを備えた荷電粒子検出器を提供する。本開示は、Ga1-x-yAlxInyN(但し0≦x<1、0≦y<1)を含む層と、GaNを含む層が交互に積層された第1の発光部(21)と、Ga1-x-yAlxInyN(但し0≦x<1、0≦y<1)を含む層と、GaNを含む層が交互に積層された第2の発光部(23)と、当該第1の発光部と第2の発光部との間に介在する非発光部(22)とを備えた荷電粒子検出器を提案する(図2参照)。