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1. (WO2018143016) 気体センサ

Pub. No.:    WO/2018/143016    International Application No.:    PCT/JP2018/001992
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Jan 24 00:59:59 CET 2018
IPC: G01N 27/12
G01N 27/04
H01M 8/00
H01M 8/04
Applicants: PANASONIC INTELLECTUAL PROPERTY MANAGEMENT CO., LTD.
パナソニックIPマネジメント株式会社
Inventors: FUJII Satoru
藤井 覚
WEI Zhiqiang
魏 志強
HOMMA Kazunari
本間 運也
YONEDA Shinichi
米田 慎一
NAITO Yasuhisa
内藤 泰久
SHIMA Hisashi
島 久
AKINAGA Hiroyuki
秋永 広幸
Title: 気体センサ
Abstract:
気体センサ(100)は、基板(101)の上方に形成され、金属酸化物層で構成される気体感応体層(103)と、気体感応体層(103)の上に形成された第1の電極(104)と、気体感応体層(103)の上に、第1の電極(104)との間に間隙(106)を有するように形成された第2の電極(105)と、を備え、気体感応体層(103)は、第1の電極(104)と第2の電極(105)との間に印加される電圧に基づいて、可逆的に高抵抗状態と低抵抗状態とに遷移する抵抗変化特性を有し、間隙(106)において、気体感応体層(103)の少なくとも一部は露出しており、気体感応体層(103)の抵抗値は、水素原子を含有する気体が第2の電極(105)に接したときに減少する。