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1. (WO2018142623) ポリッシングバッドの凹部形成方法およびポリッシングパッド

Pub. No.:    WO/2018/142623    International Application No.:    PCT/JP2017/004259
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Feb 07 00:59:59 CET 2017
IPC: B24B 37/26
Applicants: DAIKI CO.,LTD.
株式会社大輝
Inventors: OISHI Kuniharu
大石 邦晴
UNNO Tatsuhiro
海野 達広
Title: ポリッシングバッドの凹部形成方法およびポリッシングパッド
Abstract:
[課題]凹部に関するユーザの要求に応えた高品質なポリッシングパッドを提供する。 [解決手段]まず、ポリッシングパッド(7)の表面に形成すべき凹部の形状に対応した凸形状を有する治具(6)を作業面(2a)上に配置する。つぎに、ポリッシングパッド(7)を治具(6)が配置された作業面(2a)上に配置する。そして、吸引孔(2b)を介してポリッシングパッド(7)を裏面より吸引し、治具の突出部(6)によって浮き上がった状態で支持されたポリッシングパッド(7)を撓ませながら、治具(6)の凸形状に応じて隆起した表面を厚さ方向に部分的に除去する。これによって、ポリッシングパッド(7)の表面に凹部が形成される。