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1. (WO2018142459) ターゲット装置

Pub. No.:    WO/2018/142459    International Application No.:    PCT/JP2017/003396
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Feb 01 00:59:59 CET 2017
IPC: G21K 5/08
H05H 6/00
Applicants: SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
住友重機械工業株式会社
Inventors: MORI Masafumi
森 雅史
KIKUCHI Yuuji
菊地 雄司
Title: ターゲット装置
Abstract:
ターゲット装置は、複数のターゲットと、ターゲットへ荷電粒子線を照射する照射部と、照射部からの荷電粒子線が照射されるターゲットを切り替える切替部と、ターゲットを冷却する冷却部と、を備え、冷却部は、照射部からの荷電粒子線の延伸軸上とは異なる位置に配置されている。