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1. (WO2018139673) 半導電性セラミック部材およびウエハ搬送用保持具
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国際公開番号: WO/2018/139673 国際出願番号: PCT/JP2018/002963
国際公開日: 02.08.2018 国際出願日: 30.01.2018
IPC:
H01L 21/673 (2006.01) ,B25J 15/00 (2006.01) ,C04B 35/117 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
673
特に適合するキャリアを使用するもの
B 処理操作;運輸
25
手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ
J
マニプレータ;マニプレータ装置を持つ小室
15
把持部
C 化学;冶金
04
セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物
B
石灰;マグネシア;スラグ;セメント;その組成物,例.モルタル,コンクリートまたは類似の建築材料;人造石;セラミックス;耐火物;天然石の処理
35
組成に特徴を持つ成形セラミック製品;セラミック組成;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理
01
酸化物を基とするもの
10
酸化アルミニウムを基とするもの
111
ファインセラミックス
117
複合組成物
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
出願人:
京セラ株式会社 KYOCERA CORPORATION [JP/JP]; 京都府京都市伏見区竹田鳥羽殿町6番地 6, Takeda Tobadono-cho, Fushimi-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6128501, JP
発明者:
立山 泰治 TATEYAMA,Yasuharu; JP
高坂 祥二 KOHSAKA,Shoji; JP
優先権情報:
2017-01439330.01.2017JP
2017-10568929.05.2017JP
発明の名称: (EN) SEMICONDUCTIVE CERAMIC MEMBER AND HOLDER FOR WAFER CONVEYANCE
(FR) ÉLÉMENT CÉRAMIQUE SEMI-CONDUCTEUR ET SUPPORT POUR TRANSPORT DE PLAQUETTE
(JA) 半導電性セラミック部材およびウエハ搬送用保持具
要約:
(EN) A semiconductive ceramic member according to this disclosure is composed of an alumina ceramic which contains α-alumina and titanium oxide. This semiconductive ceramic member contains 89-95% by mass of Al in terms of Al2O3 and 5-11% by mass of Ti in terms of TiO2. If the total of the Al amount in terms of Al2O3 and the Ti amount in terms of TiO2 is taken as 100 parts by mass, this semiconductive ceramic member contains 0.02-0.6 part by mass of Ca and Ce in total, respectively in terms of CaO and CeO2, relative to the 100 parts by mass. In addition, this semiconductive ceramic member has a bulk duty of 3.7 g/cm3 or more. This semiconductive ceramic member has a peak of TiOx (0 < x <2) within the binding energy range of 456-462 eV as determined by X-ray photoelectron spectroscopy. In addition, the surface of this semiconductive ceramic member has a lightness index L* of from 40 to 60 (inclusive) and a ∆L* of 1 or less.
(FR) Un élément céramique semi-conducteur selon la présente invention est composé d'une céramique d'alumine qui contient de l'α-alumine et de l'oxyde de titane. Cet élément céramique semi-conducteur contient 89 à 95 % en masse d'Al en termes d'Al2O3 et de 5 à 11 % en masse de Ti en termes de TiO2. Si le total de la quantité d'Al en termes d'Al2O3 et de la quantité de Ti en termes de TiO2 est considéré comme étant 100 parties en masse, cet élément céramique semi-conducteur contient 0,02 à 0,6 partie en masse de Ca et Ce au total, respectivement en termes de CaO et CeO2, par rapport aux 100 parties en masse. De plus, cet élément céramique semi-conducteur a une masse volumique apparente de 3,7 g/cm3 ou plus. Cet élément céramique semi-conducteur a un pic de TiOx (0 < x < 2) dans la plage d'énergie de liaison de 456 à 462 eV tel que déterminé par spectroscopie photoélectronique à rayons X. De plus, la surface de cet élément céramique semi-conducteur a un indice de clarté L* de 40 à 60 (inclus) et un ∆L* de 1 ou moins.
(JA) 本開示の半導電性セラミック部材は、α-アルミナと、酸化チタンとを含有するアルミナ質セラミックスからなる。そして、AlをAl23に換算した値で89~95質量%、TiをTiO2に換算した値で5~11質量%含有する。また、AlをAl23に換算した値およびTiをTiO2に換算した値の合計を100質量部としたとき、該100質量部に対して、CaおよびCeをそれぞれCaOおよびCeO2に換算した値の合計で0.02~0.6質量部含有する。また、かさ密度が3.7g/cm3以上である。また、X線光電子分光による測定において、結合エネルギーが456~462eVの範囲にTiOx(0<x<2)のピークが存在する。また、表面において、明度指数L*が40以上60以下であるとともに、ΔL*が1以下である。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)