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1. (WO2018139667) ピックアップ装置およびピックアップ方法

Pub. No.:    WO/2018/139667    International Application No.:    PCT/JP2018/002908
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Jan 31 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/60
H01L 21/52
H01L 21/683
H05F 3/06
Applicants: SHINKAWA LTD.
株式会社新川
Inventors: MATSUNO Yasuyuki
松野 康之
NAKAMURA Tomonori
中村 智宣
TAKAYAMA Shin
高山 晋
OMATA Hiroshi
尾又 洋
Title: ピックアップ装置およびピックアップ方法
Abstract:
シート材110の表面に貼り付けられた半導体チップ100をピックアップするピックアップ装置10は、一部又は全部が、電離作用を有する除電用電磁波が透過可能な材料を含み、前記シート材110の裏面を吸着保持するステージ12と、前記ステージ12の裏側から前記半導体チップ100を突き上げる突き上げピン26と、前記除電用電磁波を、前記ステージ12の裏側から前記シート材110を透過させて前記半導体チップ100の裏面に照射して、前記半導体チップ100と前記シート材110との間に生じた電荷を除電する除電機構20と、を備える。