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1. (WO2018139612) 部品製造用フィルム、部品製造用具及び部品製造方法
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国際公開番号: WO/2018/139612 国際出願番号: PCT/JP2018/002585
国際公開日: 02.08.2018 国際出願日: 26.01.2018
IPC:
H01L 21/683 (2006.01) ,B32B 15/08 (2006.01) ,B32B 27/00 (2006.01) ,B32B 27/36 (2006.01) ,C09J 7/20 (2018.01) ,H01L 21/301 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
B 処理操作;運輸
32
積層体
B
積層体,すなわち平らなまたは平らでない形状,例.細胞状またはハニカム状,の層から組立てられた製品
15
本質的に金属からなる積層体
04
層の主なまたは唯一の構成要素が金属からなり,特定物質の他の層に隣接したもの
08
合成樹脂の層に隣接したもの
B 処理操作;運輸
32
積層体
B
積層体,すなわち平らなまたは平らでない形状,例.細胞状またはハニカム状,の層から組立てられた製品
27
本質的に合成樹脂からなる積層体
B 処理操作;運輸
32
積層体
B
積層体,すなわち平らなまたは平らでない形状,例.細胞状またはハニカム状,の層から組立てられた製品
27
本質的に合成樹脂からなる積層体
36
ポリエステルからなるもの
[IPC code unknown for C09J 7/20]
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
301
半導体本体を別個の部品に細分割するため,例.分離する
出願人:
三井化学東セロ株式会社 MITSUI CHEMICALS TOHCELLO, INC. [JP/JP]; 東京都千代田区神田美土代町7 7, Kanda Mitoshiro-cho, Chiyoda-ku, Tokyo 1018485, JP
発明者:
林下 英司 HAYASHISHITA Eiji; JP
高橋 宏和 TAKAHASHI Hirokazu; JP
福良 和秀 FUKURA Kazuhide; JP
代理人:
鈴木 勝雅 SUZUKI Katsumasa; JP
優先権情報:
2017-01480830.01.2017JP
発明の名称: (EN) COMPONENT-MANUFACTURING FILM, COMPONENT-MANUFACTURING TOOL, AND COMPONENT-MANUFACTURING METHOD
(FR) FILM DE FABRICATION DE COMPOSANT, OUTIL DE FABRICATION DE COMPOSANT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE COMPOSANT
(JA) 部品製造用フィルム、部品製造用具及び部品製造方法
要約:
(EN) The purpose of the present invention is to provide a component-manufacturing film, a component-manufacturing tool, and a component-manufacturing method with which reliable chucking to a chuck table is possible in a heated environment while providing versatility in which shared use in different steps is possible. To address the above: this film 1 has a first region S1 and a second region S2 disposed so as to surround the region S1; the region S1 is formed from a base layer 11 and an adhesive layer 12 provided on one surface side of the base layer 11; the region S2 is formed from the base layer 11, the adhesive layer 12, and an additional layer 13 affixed onto the layer 12. In the temperature range of 190°C or below, the tensile modulus of elasticity of the additional layer 13 is equal to or greater than the tensile modulus of elasticity of the base layer 11. The present method has a component fixing step, a film placement step for performing placement so that the boundary between the region S1 and the region S2 is located on the inner side of the edge of the chuck table, a chucking step, and a heating step.
(FR) L'objectif de la présente invention est de fournir un film de fabrication de composant, un outil de fabrication de composant, et un procédé de fabrication de composant avec lequel un serrage fiable sur une table de mandrin est possible dans un environnement chauffé tout en fournissant une polyvalence dans laquelle une utilisation partagée dans différentes étapes est possible. Pour résoudre ce qui précède : ce film 1 a une première région S1 et une seconde région S2 disposée de façon à entourer la région S1; la région S1 est formée à partir d'une couche de base 11 et d'une couche adhésive 12 disposée sur un côté de surface de la couche de base 11; la région S2 est formée à partir de la couche de base 11, de la couche adhésive 12, et d'une couche supplémentaire 13 fixée sur la couche 12. Dans la plage de température de 190 °C ou moins, le module d'élasticité en traction de la couche supplémentaire 13 est supérieur ou égal au module d'élasticité en traction de la couche de base 11. Le présent procédé comprend une étape de fixation de composant, une étape de placement de film pour effectuer un placement de telle sorte que la limite entre la région S1 et la région S2 est située sur le côté interne du bord de la table de mandrin, une étape de serrage et une étape de chauffage.
(JA) 異なる工程間で共用できる汎用性を有しながら、加熱環境下においてチャックテーブルに確実に吸着できる部品製造用フィルム、部品製造用具及び部品製造方法を提供することを目的として、本フィルム1は、第1領域S1と領域S1を囲んで配置された第2領域S2とを有し、領域S1は基層11とその一面側に設けられた粘着材層12とで形成され、領域S2は基層11及び粘着材層12と、層12上に貼着された付加層13とで形成され、温度190℃以下の範囲において、付加層13の引張弾性率が基層11の引張弾性率以上である。本方法は、部品固定工程とチャックテーブルの端縁より内側に領域S1と領域S2との境界が位置するように載置するフィルム載置工程と吸着工程と加熱工程とを備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)