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1. (WO2018139346) 微粒子数検出器

Pub. No.:    WO/2018/139346    International Application No.:    PCT/JP2018/001500
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Jan 20 00:59:59 CET 2018
IPC: G01N 15/06
G01N 27/60
G01N 27/68
Applicants: NGK INSULATORS, LTD.
日本碍子株式会社
Inventors: MIZUNO, Kazuyuki
水野 和幸
OKUMURA, Hidemasa
奥村 英正
KANNO, Keiichi
菅野 京一
Title: 微粒子数検出器
Abstract:
微粒子数検出器10は、通気管12に、セラミックス製の通気管12と、気中放電により電荷を発生する電荷発生素子20と、電界発生電極42と、捕集電極44と、電界発生電極52と、除去電極54とを備えている。電荷発生素子20を構成する誘電電極24は、通気管12に埋設されている。電荷発生素子20を構成する放電電極22と、捕集用及び除去用電界発生電極42,52と、捕集電極44と、除去電極54とは、通気管12の内壁面に沿って設けられている。電荷発生素子20は、通気管12の内壁面に沿って設けられている。