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1. (WO2018139330) 擬似欠陥サンプルおよびその製造方法、超音波探傷測定条件の調整方法、ターゲット素材の検査方法、並びに、スパッタリングターゲットの製造方法

Pub. No.:    WO/2018/139330    International Application No.:    PCT/JP2018/001351
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Jan 19 00:59:59 CET 2018
IPC: G01N 29/30
Applicants: SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED
住友化学株式会社
Inventors: SUGAWARA, Hiroaki
菅原 裕明
NISHIOKA, Koji
西岡 宏司
Title: 擬似欠陥サンプルおよびその製造方法、超音波探傷測定条件の調整方法、ターゲット素材の検査方法、並びに、スパッタリングターゲットの製造方法
Abstract:
ターゲット素材の内部の欠陥を検査する超音波探傷測定条件の調整のための擬似欠陥サンプルであって、 前記擬似欠陥サンプルは、第1面及び該第1面に対向する第2面を含む基板を備え、 前記基板には、前記第1面側から第1の深さまでの座繰穴と、前記座繰穴の底面の一部に前記座繰穴の底面から第2の深さまでの平底穴とが形成され、 前記平底穴の円相当径φの前記平底穴の第2の深さdに対する割合φ/dは、 前記平底穴の円相当径φが0.3mm未満であるとき、0.08以上0.40未満であり、 前記平底穴の円相当径φが0.3mm以上0.4mm未満であるとき、0.1以上0.60未満であり、 前記平底穴の円相当径φが0.4mm以上であるとき、0.11以上1.60未満である、擬似欠陥サンプル