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1. (WO2018139274) 偏光光照射装置及び偏光光照射方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/139274 国際出願番号: PCT/JP2018/001071
国際公開日: 02.08.2018 国際出願日: 16.01.2018
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,G02F 1/1337 (2006.01)
出願人: V TECHNOLOGY CO., LTD.[JP/JP]; 134, Godo-cho, Hodogaya-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2400005, JP
発明者: ARAI Toshinari; JP
TAKESHITA Takuro; JP
代理人: SAKATA Yukari; JP
優先権情報:
2017-01179726.01.2017JP
発明の名称: (EN) POLARIZED LIGHT RADIATION DEVICE AND POLARIZED LIGHT RADIATION METHOD
(FR) DISPOSITIF DE RAYONNEMENT LUMINEUX POLARISÉ ET PROCÉDÉ DE RAYONNEMENT LUMINEUX POLARISÉ
(JA) 偏光光照射装置及び偏光光照射方法
要約: front page image
(EN) An alignment film that causes the pretilt angle of liquid crystal molecules to be small can be produced by a photoalignment process. Polarized light emitted from a light source (211) and transmitted through a light transmission region formed in a mask (32) is radiated onto an object (W) to be exposed resting on a stage (11). The polarized light is radiated onto the object (W) to be exposed from a direction inclined approximately 50-70 degrees in relation to the direction approximately orthogonal to the upper surface of the stage (11).
(FR) La présente invention concerne un film d'alignement qui amène l'angle de pré-inclinaison de molécules de cristaux liquides à être petit, et qui peut être produit par un processus de photo-alignement. La lumière polarisée émise par une source de lumière (211) et transmise à travers une région de transmission de lumière formée dans un masque (32) est émise sur un objet (W) à exposer reposant sur un support (11). La lumière polarisée est émise sur l'objet (W) à exposer à partir d'une direction inclinée d'environ 50 à 70 degrés par rapport à la direction approximativement orthogonale à la surface supérieure du support (11).
(JA) 光配向処理により、液晶分子のプレチルト角が小さくなるような配向膜を生成することができる。 光源(211)から出射され、マスク(32)に形成された光透過領域を透過した偏光光は、ステージ(11)に載置された露光対象物(W)に照射される。偏光光は、ステージ(11)の上面と略直交する方向に対して、略50度から略70度傾いた方向から露光対象物(W)へ照射される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)