国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018139109) 感放射線性組成物及びパターン形成方法

Pub. No.:    WO/2018/139109    International Application No.:    PCT/JP2017/045386
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Dec 19 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 7/038
G03F 7/004
Applicants: JSR CORPORATION
JSR株式会社
Inventors: MINEGISHI Shinya
峯岸 信也
SHIRATANI Motohiro
白谷 宗大
NAKAGAWA Hisashi
中川 恭志
Title: 感放射線性組成物及びパターン形成方法
Abstract:
本発明は、下記式(1)、下記式(2)又はこれらの組み合わせで表される第1構造単位、及び下記式(3)で表される第2構造単位を有する金属酸化物と、溶媒とを含有する感放射線性組成物である。下記式(1)~(3)中、Mは、それぞれ独立して、ゲルマニウム、スズ又は鉛である。R1、R2及びR3は、それぞれ独立して、Mに炭素原子で結合する炭素数1~40の1価の有機基である。上記金属酸化物を構成する全構造単位に対する上記第1構造単位の含有割合としては50モル%以上が好ましい。