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1. (WO2018139070) 液封式真空ポンプ

Pub. No.:    WO/2018/139070    International Application No.:    PCT/JP2017/044180
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Dec 09 00:59:59 CET 2017
IPC: F04C 25/02
F04C 19/00
Applicants: EBARA CORPORATION
株式会社 荏原製作所
Inventors: KAWASAKI, Hiroyuki
川▲崎▼ 裕之
SASAKI, Nozomu
佐々木 望
Title: 液封式真空ポンプ
Abstract:
本発明は、モータの主軸(回転軸)の軸端部に2段のインペラ(羽根車)を取り付けた2段液封式真空ポンプに関するものである。 第1段ポンプ室(1)内に設けた第1段羽根車(4)と第2段ポンプ室(2)内に設けた第2段羽根車(5)とを同一回転軸(7)に固定し、第1段ポンプ室(1)の排気ポート(Pd)と第2段ポンプ室(2)の吸気ポート(Ps)とを連通した2段液封式真空ポンプにおいて、第1段羽根車(4)の外径を第2段羽根車(5)の外径より大きくした。