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1. (WO2018138918) 極端紫外光生成装置
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国際公開番号: WO/2018/138918 国際出願番号: PCT/JP2017/003211
国際公開日: 02.08.2018 国際出願日: 30.01.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,H05G 2/00 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
H 電気
05
他に分類されない電気技術
G
X線技術
2
X線の発生に特に適合した装置または処理で,X線管を含まないもの,例.プラズマの発生を含むもの
出願人:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
発明者:
石原 孝信 ISHIHARA, Takanobu; JP
西坂 敏博 NISHISAKA, Toshihiro; JP
白石 裕 SHIRAISHI, Yutaka; JP
代理人:
松浦 憲三 MATSUURA, Kenzo; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) EXTREME UV LIGHT GENERATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE UV EXTRÊME
(JA) 極端紫外光生成装置
要約:
(EN) The extreme UV light generation device according to one aspect of the present disclosure comprises a chamber; a target supply unit which supplies droplets of a target substance into a plasma generation region inside the chamber; a first pipe which encloses at least part of a range of a trajectory of the droplets, wherein a first end part, which is an upstream end part in the trajectory direction, and a second end part, which is a downstream end part, are open; a second pipe which encloses at least part of a range of the first pipe and is disposed across a gap from part of the first pipe, in which a third end part, which is a downstream end part in the trajectory direction, is open, the third end part extending further downstream in the trajectory direction than the second end part of the first pipe; and a gas supply unit which supplies gas that flows through the gap between the first pipe and the second pipe, and causes gas to flow in the trajectory direction from a gas outlet formed in the second end-side of the gap.
(FR) Selon un aspect de la présente invention, un dispositif de génération de lumière UV extrême comprend : une chambre ; une unité d'alimentation cible qui fournit des gouttelettes d'une substance cible dans une région de génération de plasma à l'intérieur de la chambre ; un premier tuyau qui renferme au moins une partie d'une plage d'une trajectoire des gouttelettes, une première partie d'extrémité, qui est une partie d'extrémité en amont dans la direction de trajectoire, et une deuxième partie d'extrémité, qui est une partie d'extrémité en aval, étant ouvertes ; un second tuyau qui renferme au minimum une partie d'une étendue du premier tuyau et est disposé à travers un espace depuis une partie dudit premier tuyau, dans lequel une troisième partie d'extrémité, qui est une partie d'extrémité en aval dans la direction de trajectoire, est ouverte, la troisième partie d'extrémité s'étendant encore plus en aval dans la direction de trajectoire que la deuxième partie d'extrémité du premier tuyau ; et une unité d'alimentation en gaz qui fournit du gaz circulant à travers l'espace entre le premier tuyau et le second tuyau, et qui amène le gaz à circuler dans la direction de trajectoire depuis une sortie de gaz formée dans le second côté d'extrémité de l'espace.
(JA) 本開示の一観点に係る極端紫外光生成装置は、チャンバと、チャンバ内のプラズマ生成領域にターゲット物質のドロップレットを供給するターゲット供給部と、ドロップレットの軌道の少なくとも一部の周囲を覆う第1の管であって、軌道方向の上流側端部である第1の端部及び下流側端部である第2の端部の両方が開放された第1の管と、第1の管の少なくとも一部の周囲を覆い、第1の管の少なくとも一部との間に間隙を持って配置された第2の管であって、軌道方向の下流側端部である第3の端部が開放され、第3の端部が第1の管の第2の端部よりもさらに軌道方向の下流側に延出している第2の管と、第1の管と第2の管との間隙に流すガスを供給し、間隙の第2の端部側に開口したガス出口から軌道方向にガスを流出させるガス供給部と、を備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)