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1. (WO2018138824) 蒸着用マスク、蒸着用マスクの製造方法及び有機EL表示装置の製造方法
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国際公開番号: WO/2018/138824 国際出願番号: PCT/JP2017/002693
国際公開日: 02.08.2018 国際出願日: 26.01.2017
IPC:
C23C 14/24 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
24
真空蒸着
出願人:
シャープ株式会社 SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 大阪府堺市堺区匠町1番地 1, Takumi-cho, Sakai-ku, Sakai City, Osaka 5908522, JP
発明者:
川戸 伸一 KAWATO, Shinichi; --
二星 学 NIBOSHI, Manabu; --
小池 英士 KOIKE, Eiji; --
井上 智 INOUE, Satoshi; --
井上 毅 INOUE, Tsuyoshi; --
小林 勇毅 KOBAYASHI, Yuhki; --
代理人:
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK; 大阪府大阪市北区天神橋2丁目北2番6号 大和南森町ビル Daiwa Minamimorimachi Building, 2-6, Tenjinbashi 2-chome Kita, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300041, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) VAPOR DEPOSITION MASK, METHOD FOR PRODUCING VAPOR DEPOSITION MASK, AND METHOD FOR PRODUCING ORGANIC EL DISPLAY DEVICE
(FR) MASQUE DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR, PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN MASQUE DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN DISPOSITIF D'AFFICHAGE ÉLECTROLUMINESCENT ORGANIQUE
(JA) 蒸着用マスク、蒸着用マスクの製造方法及び有機EL表示装置の製造方法
要約:
(EN) Provided is a vapor deposition mask (1) which includes a metallic substrate (2) provided with a plurality of openings (4) through which vapor deposition particles can pass, wherein the plurality of openings (4) are configured as a plurality of opening groups in which the openings (4) are repeatedly disposed according to certain rules, and a plurality of protruding sections (5) of the same height are disposed so as to be able to support the entire substrate (2) from one side and are provided only outside of opening group formation regions (3).
(FR) L'invention concerne un masque de dépôt en phase vapeur (1) qui comprend un substrat métallique (2) pourvu d'une pluralité d'ouvertures (4) à travers lesquelles des particules de dépôt en phase vapeur peuvent passer, la pluralité d'ouvertures (4) étant configurées sous la forme d'une pluralité de groupes d'ouverture dans lesquels les ouvertures (4) sont disposées de façon répétée selon certaines règles, et une pluralité de sections en saillie (5) de la même hauteur sont disposées de façon à pouvoir supporter l'ensemble du substrat (2) d'un côté et sont disposées uniquement à l'extérieur des régions de formation de groupe d'ouverture (3).
(JA) 蒸着粒子を通す複数の開口(4)が設けられた金属製基板(2)を含む蒸着用マスク(1)であって、複数の開口(4)は、その開口(4)が一定の規則に沿って繰り返し配置された複数の開口群で構成されており、同一高さの複数の凸部(5)は、基板(2)全体を一方側から支持できる配置で、開口群形成領域(3)の外側にのみ設けられている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)