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1. (WO2018138764) トランジスタ

Pub. No.:    WO/2018/138764    International Application No.:    PCT/JP2017/002280
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Jan 25 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/338
H01L 29/812
Applicants: MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
三菱電機株式会社
Inventors: KAMIOKA, Jun
神岡 純
YAMANAKA, Koji
山中 宏治
HANGAI, Masatake
半谷 政毅
Title: トランジスタ
Abstract:
トランジスタ(100)は、誘電体基板(1)の裏面部に設けられた金属層(2)と、誘電体基板(1)の表面部に設けられており、ゲートバスバー(31)とゲートバスバー(31)により互いに電気的に接続された複数本のゲートフィンガー(321~3210)とを有するゲート電極(3)と、誘電体基板(1)の表面部に設けられており、誘電体基板(1)を貫通したビア(11a,11b)により金属層(2)と電気的に接続されたソース電極(5)とを備え、ゲートバスバー(31)の一部がエアブリッジ配線により構成されており、当該エアブリッジ配線と誘電体基板(1)との間にソース電極(5)の一部が配置されている。