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1. (WO2018135487) 異物検出装置、異物検出方法及び記憶媒体
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国際公開番号: WO/2018/135487 国際出願番号: PCT/JP2018/001019
国際公開日: 26.07.2018 国際出願日: 16.01.2018
IPC:
G01N 21/85 (2006.01) ,B29C 59/00 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21
光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84
特殊な応用に特に適合したシステム
85
動いている流体または動いている粒状固体の調査
B 処理操作;運輸
29
プラスチックの加工;可塑状態の物質の加工一般
C
プラスチックの成形または接合;可塑状態の物質の成形一般;成形品の後処理,例.補修
59
表面成形,例.エンボス;そのための装置
出願人:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
発明者:
林 聖人 HAYASHI, Masato; JP
野口 耕平 NOGUCHI, Kohei; JP
梶原 大介 KAJIWARA, Daisuke; JP
東 広大 HIGASHI, Koudai; JP
代理人:
特許業務法人弥生特許事務所 YAYOY PATENT OFFICE; JP
優先権情報:
2017-00873420.01.2017JP
発明の名称: (EN) FOREIGN MATTER DETECTION DEVICE, FOREIGN MATTER DETECTION METHOD AND STORAGE MEDIUM
(FR) DISPOSITIF DE DÉTECTION DE MATIÈRE ÉTRANGÈRE, PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE MATIÈRE ÉTRANGÈRE ET SUPPORT DE STOCKAGE
(JA) 異物検出装置、異物検出方法及び記憶媒体
要約:
(EN) [Problem] To provide a technique that makes it possible to accurately detect foreign matter flowing through a flow path unit. [Solution] This device is configured provided with: flow path units 15A-15K configuring flow paths 17A-17K through which a fluid supplied to a workpiece W flows; a laser irradiation unit 51 for irradiating a laser into said flow path units 15A-15K such that the optical path crosses the flow direction of the fluid in the flow path units 15A-15K; light receiving elements 45A, 45B provided on the optical path passing through the flow path units 15A-15K; a detection unit 6 for detecting foreign matter in the fluid on the basis of a signal detected from the light receiving elements 45A, 45B; and a filter unit 57 which is provided on the optical path between the light receiving elements 45A, 45B and the flow path units 15A-15K, and which blocks Ramen scattered light generated by irradiating light from the light irradiation unit 51 onto the fluid and transmits Rayleigh scattered light onto the light receiving elements 45A, 45B.
(FR) Le problème à résoudre par la présente invention est de fournir une technique qui permette de détecter précisément une matière étrangère s'écoulant au travers d'une unité de trajet d'écoulement. La solution selon l'invention porte sur un dispositif configuré et doté des éléments suivants : des unités de trajet d'écoulement (15A-15K) qui constituent des trajets d'écoulement (17A-17K) à travers lesquels un fluide fourni à une pièce de travail (W) s'écoule ; une unité d'irradiation laser (51) destinée à irradier un laser dans lesdites unités de trajet d'écoulement (15A-15K), de sorte que le trajet optique croise la direction d'écoulement du fluide dans les unités de trajet d'écoulement (15A-15K) ; des éléments de réception de lumière (45A, 45B) disposés sur le trajet optique passant à travers les unités de trajet d'écoulement (15A-15K) ; une unité de détection (6) permettant de détecter une matière étrangère dans le fluide sur la base d'un signal détecté par les éléments de réception de lumière (45A, 45B) ; et une unité de filtre (57) disposée sur le trajet optique entre les éléments de réception de lumière (45A, 45B) et les unités de trajet d'écoulement (15A-15K), ladite unité bloquant la lumière diffusée de Ramen générée par l'irradiation de lumière provenant de l'unité d'irradiation de lumière (51) sur le fluide et transmettant une lumière diffusée de Rayleigh sur les éléments de réception de lumière (45A, 45B).
(JA) 【課題】流路部を流れる異物を精度よく検出することができる技術を提供すること。 【解決手段】被処理体Wに供給される流体が流れる流路17A~17Kを構成する流路部15A~15Kと、流路部15A~15Kにおける流体の流れ方向と光路が交差するように、当該流路部15A~15K内にレーザー光を照射するためのレーザー光照射部51と、流路部15A~15Kを透過した光路上に設けられる受光素子45A、45Bと、受光素子45A、45Bから出力される信号に基づいて、流体中の異物を検出するための検出部6と、受光素子45A、45Bと流路部15A~15Kとの間の光路上に設けられ、流体に光照射部51から光が照射されて生じたラマン散乱光を遮断すると共にレイリー散乱光を受光素子45A、45Bへ透過させるフィルタ部57と、を備えるように装置を構成する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)