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1. (WO2018135412) 真空ポンプ装置、及び該真空ポンプ装置に用いられるポンプ本体ユニット、制御ユニット、並びにスペーサ

Pub. No.:    WO/2018/135412    International Application No.:    PCT/JP2018/000698
Publication Date: Fri Jul 27 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Jan 13 00:59:59 CET 2018
IPC: F04B 39/00
F04B 37/16
F04D 19/04
F04D 29/64
H05K 5/02
Applicants: EDWARDS JAPAN LIMITED
エドワーズ株式会社
Inventors: SAKAGUCHI Yoshiyuki
坂口 祐幸
SUN Yanbin
孫 彦斌
SAEGUSA Kengo
三枝 健吾
OMORI Hideki
大森 秀樹
Title: 真空ポンプ装置、及び該真空ポンプ装置に用いられるポンプ本体ユニット、制御ユニット、並びにスペーサ
Abstract:
【課題】真空ポンプ制御装置の薄形・軽量化とコンパクト化、並びにコストの低減を可能にする真空ポンプ装置を提供する。 【解決手段】ポンプ本体ユニット(11)とポンプ本体ユニット(11)の駆動を制御する制御ユニット(12)を一体化した真空ポンプ装置(10)であって、制御ユニットユニット(12)の筐体(22)に加わる荷重を支えるスペーサ(13)を、ポンプ本体ユニット(11)のベース(15)と制御ユニット(12)の筐体(22)との間に備える構成とした。