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1. (WO2018135233) 異物検査装置、異物検査方法および製造装置
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国際公開番号: WO/2018/135233 国際出願番号: PCT/JP2017/045971
国際公開日: 26.07.2018 国際出願日: 21.12.2017
IPC:
G01N 21/85 (2006.01) ,G01N 21/01 (2006.01) ,G01N 21/27 (2006.01) ,G01N 21/93 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21
光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84
特殊な応用に特に適合したシステム
85
動いている流体または動いている粒状固体の調査
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21
光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
01
光学的調査を容易に行なうための配置または装置
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21
光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
17
調査される材料の特性に応じて入射光が変調されるシステム
25
色;スペクトル特性,すなわち2またはそれ以上の波長あるいは波長帯において材料が光に与える効果の比較
27
光電検出器を用いるもの
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21
光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84
特殊な応用に特に適合したシステム
88
きず,欠陥,または汚れの存在の調査
93
検査用標準;キャリブレーション
出願人:
シャープ株式会社 SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 大阪府堺市堺区匠町1番地 1, Takumi-cho, Sakai-ku, Sakai City, Osaka 5908522, JP
株式会社PS&T PS&T CO., LTD. [JP/JP]; 大阪府堺市北区長曽根町130番地42 130-42, Nagasone-cho, Kita-ku, Sakai-shi, Osaka 5918025, JP
発明者:
松田 京子 MATSUDA, Kyohko; --
榊原 裕介 SAKAKIBARA, Yusuke; --
和泉 真 IZUMI, Makoto; --
森 豪 MORI, Go; --
綿野 哲 WATANO, Satoru; JP
代理人:
特許業務法人深見特許事務所 FUKAMI PATENT OFFICE, P.C.; 大阪府大阪市北区中之島三丁目2番4号 中之島フェスティバルタワー・ウエスト Nakanoshima Festival Tower West, 2-4, Nakanoshima 3-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300005, JP
優先権情報:
2017-00584017.01.2017JP
発明の名称: (EN) FOREIGN MATTER DETECTION DEVICE, FOREIGN MATTER DETECTION METHOD AND MANUFACTURING DEVICE
(FR) DISPOSITIF D’INSPECTION DE SUBSTANCE ÉTRANGÈRE, PROCÉDÉ D’INSPECTION DE SUBSTANCE ÉTRANGÈRE, ET DISPOSITIF DE FABRICATION
(JA) 異物検査装置、異物検査方法および製造装置
要約:
(EN) This foreign matter detection method, for determining whether or not foreign matter is admixed with a target, involves: a step for preparing a standard sample (20) that has no admixed foreign matter and that is thinner than the aforementioned target; a step in which light from a light source (6) passes through the standard sample (20) and reaches a detection unit (7) without passing through the target, and spectral data of the light detected by the detection unit (7) is acquired as reference data (11); a step in which at least some of the light from the light source (6) passes through the target at least once and reaches the detection unit (7), and spectral data of the light received in the detection unit (7) is detected as measurement data; and a step for determining whether or not foreign matter is admixed with the target on the basis of the measurement data and the reference data.
(FR) Le procédé d’inspection de substance étrangère de l’invention juge si une substance étrangère est mélangée ou non à un objet, et inclut : une étape au cours de laquelle est préparé un échantillon-type (20) plus mince que ledit objet sans mélanger de substance étrangère ; une étape au cours de laquelle une lumière provenant d’une source lumineuse (6) passe au travers de l’échantillon-type (20), et atteint une partie détection (7) sans passer au travers dudit objet, et ainsi des données relatives au spectre de la lumière détectée par la partie détection (7) sont acquises en tant que données de références ; une étape au cours de laquelle au moins une partie de la lumière provenant de la source lumineuse (6) passe au moins une fois au travers dudit objet et atteint la partie détection (7), et ainsi des données relatives au spectre de la lumière reçue par la partie détection (7) sont détectées en tant que données de mesure ; et une étape au cours de laquelle est jugé s’il y a ou non mélange de substance étrangère dans ledit objet sur la base desdites données de mesure et desdites données de référence.
(JA) 異物検査方法は、対象物に異物が混入しているか否かを判定する異物検査方法であって、異物が混入しておらず前記対象物よりも薄い厚みを有する標準試料(20)を用意する工程と、光源(6)からの光が標準試料(20)を透過し、かつ、前記対象物を透過することなく検出部(7)に到達するようにして、検出部(7)で検出された光のスペクトルのデータを基準データ(11)として取得する工程と、光源(6)からの光の少なくとも一部が前記対象物を少なくとも1回は透過して検出部(7)に到達するようにして、検出部(7)で受光した光のスペクトルのデータを測定データとして検出する工程と、前記測定データおよび前記基準データに基づいて前記対象物に異物が混入しているか否かを判定する工程とを含む。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)