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1. (WO2018131635) 走査アンテナおよび走査アンテナの製造方法

Pub. No.:    WO/2018/131635    International Application No.:    PCT/JP2018/000432
Publication Date: Fri Jul 20 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Jan 12 00:59:59 CET 2018
IPC: H01Q 3/34
G02F 1/13
G02F 1/1333
G02F 1/1343
H01L 29/786
H01Q 3/44
H01Q 13/22
H01Q 21/06
G02F 1/1368
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA
シャープ株式会社
Inventors: ORUI Takatoshi
大類 貴俊
OHTAKE Tadashi
大竹 忠
NAKAMURA Wataru
中村 渉
MINOURA Kiyoshi
箕浦 潔
KITOH Kenichi
紀藤 賢一
Title: 走査アンテナおよび走査アンテナの製造方法
Abstract:
走査アンテナ(1000)は、第1誘電体基板(1)に支持された複数のTFTおよび複数のパッチ電極(15)を有するTFT基板(101)と、第2誘電体基板(51)に支持されたスロット電極(55)を有するスロット基板(201C)と、TFT基板とスロット基板との間に設けられた液晶層と、記第2誘電体基板に誘電体層を介して対向するように配置された反射導電板(65)とを有する。スロット電極(55)は、複数のパッチ電極(15)に対応して配置された複数のスロット(57)を有し、パッチ電極(15)は、対応するTFTのドレインに接続されており、スロット電極(55)は、Cu層(55MC、55MD)と、下側金属層(55LC、55LD)および/または上側金属層(55UD)とを有し、下側金属層および/または上側金属層は、Cu層が有する引張応力の約半分以上を低減させている。