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1. (WO2018131616) 有機EL表示パネルの製造方法、及びインク乾燥装置
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国際公開番号: WO/2018/131616 国際出願番号: PCT/JP2018/000373
国際公開日: 19.07.2018 国際出願日: 10.01.2018
IPC:
H05B 33/10 (2006.01) ,H01L 27/32 (2006.01) ,H01L 51/50 (2006.01) ,H05B 33/12 (2006.01) ,H05B 33/22 (2006.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
33
エレクトロルミネッセンス光源
10
エレクトロルミネッセンス光源の製造に特に適用する装置または方法
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
27
1つの共通基板内または上に形成された複数の半導体構成部品または他の固体構成部品からなる装置
28
能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる構成部品を含むもの
32
光放出に特に適用される構成部品を有するもの,例.有機発光ダイオードを使用したフラットパネル・ディスプレイ
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
51
能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる固体装置;このような装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
50
光放出に特に適用されるもの,例.有機発光ダイオード(OLED)または高分子発光ダイオード(PLED)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
33
エレクトロルミネッセンス光源
12
実質的に2次元放射面をもつ光源
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
33
エレクトロルミネッセンス光源
12
実質的に2次元放射面をもつ光源
22
補助的な誘電体または反射層の配置あるいは化学的または物理的組成によって特徴づけられたもの
出願人:
株式会社JOLED JOLED INC. [JP/JP]; 東京都千代田区神田錦町三丁目23番地 23, Kandanishiki-cho 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010054, JP
発明者:
福田 敏生 FUKUDA Toshio; --
前田 憲輝 MAEDA Noriteru; --
代理人:
特許業務法人 ナカジマ知的財産綜合事務所 NAKAJIMA & ASSOCIATES IP FIRM; 大阪府大阪市北区豊崎三丁目2番1号淀川5番館6F 6F, Yodogawa 5-Bankan, 2-1, Toyosaki 3-chome, Kita-ku, Osaka-shi Osaka 5310072, JP
優先権情報:
2017-00192810.01.2017JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC EL DISPLAY PANEL, AND INK DRYING DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN PANNEAU D'AFFICHAGE ÉLECTROLUMINESCENT ORGANIQUE, ET DISPOSITIF DE SÉCHAGE D'ENCRE
(JA) 有機EL表示パネルの製造方法、及びインク乾燥装置
要約:
(EN) [Problem] To achieve uniform film thickness of a light emitting layer 123 of an organic EL display panel 10 and to thereby reduce brightness irregularities. [Solution] An ink drying step includes a step of exhausting a gas from an atmosphere in which a substrate 100x is contained, and a step of forming an organic function layer 123 by drying ink by placing the substrate 100x in a state in which the pressure of the atmosphere is not more than a predetermined pressure. The step of exhausting the gas includes a first period T1 in which the pressure of the atmosphere is reduced from a normal atmospheric pressure to a first pressure P1 higher than a maximum vapor pressure among vapor pressures of a plurality of solvents, and a second period T2 in which, after the first period, the pressure of the atmosphere is reduced to a second pressure P2 lower than a minimum vapor pressure among the vapor pressures of the plurality of solvents. When the pressure of the atmosphere is 10X Pa (X is a real number), an average value of the amounts of change in the value of X per unit time in the second period T2 is greater in absolute value than an average value of the amounts of change in the value of X per unit time in the first period T1.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est d'obtenir une épaisseur de couche uniforme d'une couche électroluminescente (123) d'un panneau d'affichage électroluminescent organique (10) et de réduire ainsi les irrégularités de luminosité. La solution selon l'invention consiste en une étape de séchage d'encre qui comprend une étape d'évacuation d'un gaz d'une atmosphère dans laquelle un substrat (100x) est contenu, et une étape de formation d'une couche de fonction organique (123) par séchage d'encre en plaçant le substrat (100x) dans un état dans lequel la pression de l'atmosphère n'est pas supérieure à une pression prédéterminée. L'étape d'évacuation du gaz comprend une première période (T1) dans laquelle la pression de l'atmosphère est réduite d'une pression atmosphérique normale à une première pression (P1) supérieure à une pression de vapeur maximale parmi des pressions de vapeur d'une pluralité de solvants, et une seconde période (T2) dans laquelle, après la première période, la pression de l'atmosphère est réduite à une seconde pression (P2) inférieure à une pression de vapeur minimale parmi les pressions de vapeur de la pluralité de solvants. Lorsque la pression de l'atmosphère est de 10X Pa (X étant un nombre réel), une valeur moyenne des quantités de changement de la valeur de X par unité de temps dans la seconde période (T2) est supérieure en valeur absolue à une valeur moyenne des quantités de changement de la valeur de X par unité de temps dans la première période (T1).
(JA) 【課題】有機EL表示パネル10の発光層123の膜厚の均一化を図り輝度ムラを改善する。 【解決手段】インク乾燥工程は、基板100xを含む雰囲気から気体を排気する工程と、雰囲気の圧力が所定圧力以下の状態に基板100xを置くことによりインクを乾燥させて有機機能層123を形成する工程を含み、気体を排気する工程は、雰囲気の圧力を、標準大気圧から複数の溶媒それぞれの蒸気圧中、最大の蒸気圧よりも高い第1の圧力P1まで減圧する第1の期間T1と、第1の期間の後に、雰囲気の圧力を、複数の溶媒それぞれの蒸気圧中、最小の蒸気圧よりも低い第2の圧力P2まで減圧する第2の期間T2とを含み、雰囲気の圧力を10XPa(Xは実数)としたとき、第2の期間T2における単位時間当たりのXの値の変化量の平均値は、第1の期間T1における単位時間当たりのXの値の変化量の平均値よりも絶対値が大きい。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)