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1. (WO2018131500) 多結晶シリコンの製造方法
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国際公開番号: WO/2018/131500 国際出願番号: PCT/JP2017/047200
国際公開日: 19.07.2018 国際出願日: 28.12.2017
予備審査請求日: 31.07.2018
IPC:
C01B 33/03 (2006.01)
C 化学;冶金
01
無機化学
B
非金属元素;その化合物
33
けい素;その化合物
02
けい素
021
製造
027
シリカまたはシリカ含有材料以外の気体状または気化されたけい素化合物の分解または還元によるもの
03
けい素ハロゲン化物またはハロシランの分解,または水素のみを還元剤とするそれの還元によるもの
出願人:
株式会社トクヤマ TOKUYAMA CORPORATION [JP/JP]; 山口県周南市御影町1番1号 1-1, Mikage-cho, Shunan-shi, Yamaguchi 7458648, JP
発明者:
井上 祐一 INOUE, Yuichi; JP
代理人:
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK; 大阪府大阪市北区天神橋2丁目北2番6号 大和南森町ビル Daiwa Minamimorimachi Building, 2-6, Tenjinbashi 2-chome Kita, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300041, JP
優先権情報:
2017-00543916.01.2017JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR PRODUCING POLYCRYSTALLINE SILICON
(FR) MÉTHODE DE PRODUCTION DE SILICIUM POLYCRISTALLIN
(JA) 多結晶シリコンの製造方法
要約:
(EN) The purpose of the present invention is to embody a method whereby the deposition of a fine silicon powder in a separator and pipes, which are arranged in steps following a step using a filter, is prevented, also pump breakage is prevented and the adhesion of silane oligomers to the filter is inhibited. A method for producing polycrystalline silicon according to one embodiment of the present invention comprises a silicon precipitation step, a separation step, and a fine powder-removal step for passing a chlorosilane condensate through a filter to thereby remove fine silicon powder.
(FR) Le but de la présente invention est de réaliser une méthode par laquelle le dépôt d'une fine poudre de silicium dans un séparateur et des tuyaux, qui sont disposés dans des étapes à la suite d'une étape utilisant un filtre, est empêché. La rupture de la pompe est également empêchée et l'adhérence des oligomères de silane au filtre est inhibée. Une méthode de production de silicium polycristallin selon un mode de réalisation de la présente invention comprend une étape de précipitation de silicium, une étape de séparation et une étape d'élimination de poudre fine pour faire passer un condensat de chlorosilane à travers un filtre et éliminer ainsi la poudre de silicium fine.
(JA) フィルターの後に続く工程に配置される分離装置、配管におけるシリコン微粉の堆積およびポンプの破損を防止するとともに、フィルターへのシラン類オリゴマーの付着を抑える方法を実現する。本発明の一実施形態に係る多結晶シリコンの製造方法は、シリコン析出工程と、分離工程と、クロロシラン凝縮液をフィルターへ通すことによって、シリコン微粉を除去する微粉除去工程と、を含む。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)