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1. (WO2018131376) 極低温冷凍機および極低温冷凍機の制御装置

Pub. No.:    WO/2018/131376    International Application No.:    PCT/JP2017/044951
Publication Date: Fri Jul 20 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 15 00:59:59 CET 2017
IPC: F25B 9/14
F25B 9/00
Applicants: SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
住友重機械工業株式会社
Inventors: HIRAYAMA Takashi
平山 貴士
Title: 極低温冷凍機および極低温冷凍機の制御装置
Abstract:
極低温冷凍機10は、コールドヘッド14と、コールドヘッド14内の作動ガス圧力を第1高圧と第1高圧より低い第2高圧に周期的に切替可能なロータリーバルブ58と、ロータリーバルブ58を回転させるバルブモータ60と、を備え、ロータリーバルブ58が第2高圧の作動ガスをコールドヘッド14に封じる回転角度範囲を有するバルブユニット16と、バルブモータ60を制御する冷凍機制御部24と、冷凍機制御部24に冷凍機停止指示信号S1を出力する冷凍機停止指示部26と、冷凍機停止指示信号S1に応じて、上記回転角度範囲でロータリーバルブ58を停止させるようバルブモータ60を制御するバルブ停止タイミング制御部28と、を備える。