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1. (WO2018131360) 弾性波装置

Pub. No.:    WO/2018/131360    International Application No.:    PCT/JP2017/044347
Publication Date: Fri Jul 20 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Dec 12 00:59:59 CET 2017
IPC: H03H 9/145
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: KOYANAGI, Takuya
小柳 卓哉
TAMAZAKI, Daisuke
玉崎 大輔
Title: 弾性波装置
Abstract:
IDT電極内において、中央領域と、エッジ領域との音速差を容易にかつ確実に設けることができる弾性波装置を提供する。 圧電性基板2上にIDT電極3及び第1の誘電体層6が設けられており、IDT電極3の第1の電極指3cと、第2の電極指3dとが弾性波伝搬方向にみたときに重なり合っている交差領域が、中央領域Bと第1,第2の電極指3c,3dが延びる方向において中央領域Bの両側に配置された第1,第2のエッジ領域C,Dとを有し、第1の誘電体層6上に積層された質量付加膜7が少なくとも2種の厚み部分を有している、弾性波装置1。