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1. (WO2018131351) ネガ型感光性樹脂組成物、樹脂膜及び電子装置

Pub. No.:    WO/2018/131351    International Application No.:    PCT/JP2017/044142
Publication Date: Fri Jul 20 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Dec 09 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 7/038
C08F 290/04
Applicants: SUMITOMO BAKELITE CO., LTD.
住友ベークライト株式会社
Inventors: IKEDA Haruo
池田 陽雄
Title: ネガ型感光性樹脂組成物、樹脂膜及び電子装置
Abstract:
本発明のネガ型感光性樹脂組成物は共重合体であるポリマーと、架橋剤と、感光剤と、を含む。ここで、共重合体が、末端不飽和炭素二重結合を含む官能基によって置換されたノルボルネン型の構造単位と、カルボキシル基によって置換されたノルボルネン型の構造単位と、無水マレイン酸、無水マレイン酸誘導体、マレイミドまたはマレイミド誘導体に由来する構造単位を含む。