国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018131343) スキャナ及び走査型プローブ顕微鏡

Pub. No.:    WO/2018/131343    International Application No.:    PCT/JP2017/044060
Publication Date: Fri Jul 20 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 08 00:59:59 CET 2017
IPC: G01Q 10/04
G01Q 10/02
Applicants: OSAKA UNIVERSITY
国立大学法人大阪大学
Inventors: YAMASHITA Hayato
山下 隼人
ABE Masayuki
阿部 真之
Title: スキャナ及び走査型プローブ顕微鏡
Abstract:
広範囲の測定と高速・高精度の測定を両立することのできるスキャナを提供する。 外枠と、外枠の内側に配置される第1内枠と、第1内枠を外枠に対しY方向に相対的に移動させる広域Yアクチュエータと、第1内枠の内側に配置される第2内枠と、第2内枠を第1内枠に対しY方向と直交するX方向に相対的に移動させる広域Xアクチュエータと、第2内枠の内側に配置される第3内枠と、第3内枠を第2内枠に対しY方向に相対的に移動させる狭域Yアクチュエータと、第3内枠の内側に配置される可動土台と、可動土台を第3内枠に対しX方向に相対的に移動させる狭域Xアクチュエータとを備えるスキャナを提供する。