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1. (WO2018131123) 極端紫外光生成システム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2018/131123 国際出願番号: PCT/JP2017/000845
国際公開日: 19.07.2018 国際出願日: 12.01.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,H05G 2/00 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
H 電気
05
他に分類されない電気技術
G
X線技術
2
X線の発生に特に適合した装置または処理で,X線管を含まないもの,例.プラズマの発生を含むもの
出願人:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
発明者:
薮 隆之 YABU Takayuki; JP
若林 理 WAKABAYASHI Osamu; JP
代理人:
保坂 延寿 HOSAKA Nobuhisa; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE PRODUCTION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
(JA) 極端紫外光生成システム
要約:
(EN) Provided is an extreme ultraviolet light generation system comprising: a target supplying unit that outputs a target toward a prescribed region; a drive laser that outputs drive laser light during a period in which a burst signal input from an external device is in a first state; guide lasers that output guide laser light; a beam combiner that outputs the drive laser light output from the drive laser and the guide laser light output from the guide lasers so that the optical path axes thereof are substantially coincident; a laser light condensing optical system that condenses, in a prescribed region, the drive laser light and the guide laser light output from the beam combiner; an actuator that changes the position at which the drive laser light and the guide laser light are condensed by the laser light condensing optical system; an optical sensor that detects reflected light which is the guide laser light reflected by the target; and a control unit that, during a period in which the burst signal is in a second state different from the first state, controls the actuator so that the volume of reflected light detected by the optical sensors becomes higher.
(FR) L'invention concerne un système de production de lumière ultraviolette extrême comprenant : une unité d'alimentation cible qui produit une cible vers une région prescrite ; un laser d'entraînement qui produit une lumière laser d'entraînement pendant une période dans laquelle une entrée de signal de salve provenant d'un dispositif externe est dans un premier état ; des lasers de guidage qui produisent une lumière laser de guidage ; un combinateur de faisceau qui produit la lumière laser d'entraînement provenant du laser d'entraînement et la lumière laser de guidage provenant des lasers de guidage de telle sorte que les axes de trajet optique associés coïncident sensiblement ; un système optique de condensation de lumière laser qui condense, dans une région prescrite, la lumière laser d'entraînement et la lumière laser de guidage produites par le combinateur de faisceau ; un actionneur qui change la position à laquelle la lumière laser d'entraînement et la lumière laser de guidage sont condensées par le système optique de condensation de lumière laser ; un capteur optique qui détecte la lumière réfléchie qui est la lumière laser de guidage réfléchie par la cible ; et une unité de commande qui, pendant une période dans laquelle le signal de salve est dans un second état différent du premier état, commande l'actionneur de telle sorte que le volume de lumière réfléchie détectée par les capteurs optiques devienne plus élevé.
(JA) 極端紫外光生成システムは、所定領域に向けてターゲットを出力するターゲット供給部と、外部装置から入力されるバースト信号が第1の状態である期間に、ドライブレーザ光を出力するドライブレーザと、ガイドレーザ光を出力するガイドレーザと、ドライブレーザから出力されるドライブレーザ光の光路軸と、ガイドレーザから出力されるガイドレーザ光の光路軸と、をほぼ一致させて出力するビームコンバイナと、ビームコンバイナから出力されるドライブレーザ光及びガイドレーザ光を所定領域に集光するレーザ光集光光学系と、レーザ光集光光学系によるドライブレーザ光及びガイドレーザ光の集光位置を変更するアクチュエータと、ガイドレーザ光のターゲットによる反射光を検出する光センサと、バースト信号が第1の状態と異なる第2の状態である期間に、光センサで検出される反射光の光量が大きくなるようにアクチュエータを制御する制御部と、を備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)