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1. (WO2018128159) 薬液の品質検査方法

Pub. No.:    WO/2018/128159    International Application No.:    PCT/JP2017/047208
Publication Date: Fri Jul 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 29 00:59:59 CET 2017
IPC: G01N 33/00
G01N 21/31
G01N 24/08
G01N 27/62
G01N 30/72
G01N 30/86
G01N 30/88
G03F 7/26
H01L 21/027
H01L 21/304
Applicants: FUJIFILM CORPORATION
富士フイルム株式会社
Inventors: KAMIMURA Tetsuya
上村 哲也
Title: 薬液の品質検査方法
Abstract:
本発明は、簡便に欠陥性能を評価できる品質検査方法を提供することを課題とする。 本発明の品質検査方法は、半導体基板の製造に使用される薬液の品質検査方法であって、第1容器を準備するとともに、薬液の一部を用いて、接液部の少なくとも一部を洗浄する工程Wと、薬液の一部を洗浄後の第1容器を用いて濃縮してc液を得る工程Aと、c液中における特定成分の含有量を測定する工程Bと、特定成分の含有量をあらかじめ設定された基準値と比較する工程Cと、を、この順に有し、少なくとも工程W、及び、工程Aが、ISO14644-1:2015で定めるクラス4以上の清浄度を有するクリーンルーム内で実施され、濃縮が、Arガス、Heガス、及び、N2ガスからなる群より選択される少なくとも1種の不活性ガス下で行われるか、又は、減圧下で行われ、測定が、所定の測定法により行われる。