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1. (WO2018128072) 超音波トランスデューサおよび超音波撮像装置
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国際公開番号: WO/2018/128072 国際出願番号: PCT/JP2017/045408
国際公開日: 12.07.2018 国際出願日: 19.12.2017
IPC:
A61B 8/12 (2006.01) ,H04R 19/00 (2006.01)
A 生活必需品
61
医学または獣医学;衛生学
B
診断;手術;個人識別
8
超音波,音波または亜音波を用いることによる診断
12
体腔または人体の管状部の内部で用いるもの
H 電気
04
電気通信技術
R
スピーカ,マイクロホン,蓄音機ピックアップまたは類似の音響電気機械変換器;補聴器;パブリックアドレスシステム
19
静電型変換器
出願人:
株式会社日立製作所 HITACHI, LTD. [JP/JP]; 東京都千代田区丸の内一丁目6番6号 6-6, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008280, JP
発明者:
ゲルド セパラ KERTTU, Seppala; JP
町田 俊太郎 MACHIDA, Shuntaro; JP
竹崎 泰一 TAKEZAKI, Taiichi; JP
代理人:
特許業務法人筒井国際特許事務所 TSUTSUI & ASSOCIATES; 東京都新宿区新宿2丁目3番10号 新宿御苑ビル3階 3F, Shinjuku Gyoen Bldg., 3-10, Shinjuku 2-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600022, JP
優先権情報:
2017-00119806.01.2017JP
発明の名称: (EN) ULTRASONIC TRANSDUCER AND ULTRASONIC IMAGING DEVICE
(FR) TRANSDUCTEUR ULTRASONORE ET DISPOSITIF D’IMAGERIE ULTRASONORE
(JA) 超音波トランスデューサおよび超音波撮像装置
要約:
(EN) The present invention provides a capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) capable of achieving both high frequency vibration of a membrane and low voltage operation. The CMUT has: a lower electrode (12) formed on a substrate (10); a cavity (20) formed between two layers of insulation films (13, 15) disposed on the lower electrode (12); and an upper electrode (16) formed on the insulation film (15) and disposed overlapping with the cavity (20) in a plan view, wherein the upper electrode (16) is provided with: an outer edge portion and a central portion each having a first film thickness; and a groove portion (23) positioned between the outer edge portion and the central portion, and having a second film thickness less than the first film thickness.
(FR) La présente invention concerne un transducteur capacitif ultrasonore micro-usiné (cMUT) permettant d'obtenir à la fois une vibration haute fréquence d'une membrane et un fonctionnement à basse tension. Le cMUT comprend : une électrode inférieure (12) formée sur un substrat (10) ; une cavité (20) formée entre deux couches de films d'isolation (13, 15) disposées sur l'électrode inférieure (12) ; et une électrode supérieure (16) formée sur le film d'isolation (15) et disposée en chevauchement avec la cavité (20) dans une vue en plan, l'électrode supérieure (16) étant pourvue : d'une partie de bord extérieur et d'une partie centrale présentant chacune une première épaisseur de film ; et d'une partie de rainure (23) positionnée entre la partie de bord extérieur et la partie centrale et présentant une deuxième épaisseur de film inférieure à la première épaisseur de film.
(JA) メンブレンの高周波振動と低電圧駆動を両立させた容量検出型超音波トランスデューサ(CMUT)を実現する。CMUTは、基板(10)上に形成された下部電極(12)と、下部電極(12)上に形成された2層の絶縁膜(13、15)との間に形成されたキャビティ(20)と、絶縁膜(15)上に形成され、平面視においてキャビティ(20)と重なるように配置された上部電極(16)とを有し、上部電極(16)は、第1の膜厚を有する外縁部および中央部と、外縁部と前記中央部との間に位置し、第1の膜厚よりも薄い第2の膜厚を有する溝部(23)とを備えている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)