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1. (WO2018127987) 真空計
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国際公開番号: WO/2018/127987 国際出願番号: PCT/JP2017/024139
国際公開日: 12.07.2018 国際出願日: 30.06.2017
IPC:
G01L 21/00 (2006.01) ,G01L 9/00 (2006.01)
[IPC code unknown for G01L 21][IPC code unknown for G01L 9]
出願人:
Q’z株式会社 Q'Z CORPORATION [JP/JP]; 東京都小平市御幸町124番地2 124-2, Miyukicho, Kodaira-shi, Tokyo 1870012, JP
発明者:
北條 久男 HOJOH Hisao; JP
代理人:
井上 一 INOUE Hajime; JP
竹腰 昇 TAKEKOSHI Noboru; JP
黒田 泰 KURODA Yasushi; JP
優先権情報:
2017-00129806.01.2017JP
発明の名称: (EN) VACUUM GAUGE
(FR) JAUGE À VIDE
(JA) 真空計
要約:
(EN) Provided is a vacuum gauge which can suppress the influence of external temperature fluctuation and precisely measure the degree of vacuum. The vacuum gauge has: an introducing tube 320; a diaphragm 40 displaced by a gas which is to be measured and introduced through the introducing tube; a piezoelectric element 50 which has an end connected to the diaphragm and is displaced together with the diaphragm; an inner structure 310 to which the peripheral edge of the diaphragm and the other end of the piezoelectric element are fixed and which is connected to the introducing tube; and an airtight container 300 which airtightly encloses the introducing tube and the inner structure. The inside of the airtight container is airtightly partitioned, by the inner structure, the introducing tube, and the diaphragm, into a pressure introduction chamber 130, into which the gas to be measured is introduced from the one surface-side of the diaphragm, and a reference pressure chamber 120 located on the other surface-side of the diaphragm, the reference pressure chamber being set at a high degree of vacuum which is lower than the lower limit of the pressure of the gas to be measured.
(FR) Jauge à vide pouvant supprimer l'influence de fluctuation de température externe et mesurer précisément le degré de vide. Jauge à vide comprenant : un tube d'introduction (320) ; un diaphragme (40) déplacé par un gaz qui doit être mesuré et introduit dans le tube d'introduction ; un élément piézoélectrique (50) qui a une extrémité reliée au diaphragme et est déplacé conjointement avec le diaphragme ; une structure interne (310) à laquelle le bord périphérique du diaphragme et l'autre extrémité de l'élément piézoélectrique sont fixés et qui est relié au tube d'introduction ; et un récipient étanche à l'air (300) qui renferme hermétiquement le tube d'introduction et la structure interne. L'intérieur du récipient étanche à l'air est séparé de façon étanche à l'air, par la structure interne, du tube d'introduction et du diaphragme, dans une chambre d'introduction de pression (130), dans laquelle le gaz à mesurer est introduit à partir du côté de surface du diaphragme, et une chambre de pression de référence (120) située sur l'autre côté de surface du diaphragme, la chambre de pression de référence étant réglée à un degré élevé de vide qui est inférieur à la limite inférieure de la pression du gaz à mesurer.
(JA) 外部温度変化の影響を抑制して、正確に真空度を測定することができる真空計を提供すること。真空計は、導入管320と、導入管により導入される被測定気体によって変位するダイヤフラム40と、一端がダイヤフラムに接続されてダイヤフラムと共に変位する圧電素子50と、ダイヤフラムの周縁と圧電素子の他端とが固定され、導入管と連結される内部構造体310と、導入管及び内部構造体を気密に包囲する気密容器300と、を有する。気密容器内は、内部構造体、導入管及びダイヤフラムにより、ダイヤフラムの一面側で被測定気体が導入される圧力導入室130と、ダイヤフラムの他面側の基準圧力室120とに気密に区画され、基準圧力室は、被測定気体の圧力下限よりも低い高真空に設定される。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)