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1. (WO2018127814) WORKPIECE MAGNETIZING SYSTEM AND METHOD OF OPERATING
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国際公開番号: WO/2018/127814 国際出願番号: PCT/IB2018/050045
国際公開日: 12.07.2018 国際出願日: 03.01.2018
IPC:
H01F 13/00 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
F
磁石;インダクタンス;変成器;それらの磁気特性による材料の選択
13
磁化または減磁のための装置または工程
出願人:
TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; Akasaka Biz Tower 3-1 Akasaka 5-chome Minato-Ku, Tokyo 107-6325, JP
発明者:
COLGAN, Ian; IE
DOMSA, Ioan; IE
EYRES, George; IE
ISHII, Toru; IE
SAITO, Makoto; IE
HURLEY, David; IE
O'SHAUGHNESSY, Noel; IE
CLARKE, Barry; IE
VAN DER LINDE, Jattie; IE
HUGHES, Pat; IE
優先権情報:
62/441,84603.01.2017US
62/441,84903.01.2017US
発明の名称: (EN) WORKPIECE MAGNETIZING SYSTEM AND METHOD OF OPERATING
(FR) SYSTÈME DE MAGNÉTISATION DE PIÈCE À USINER ET SON PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT
要約:
(EN) An apparatus for magnetic annealing one or more workpieces, and a method of operating the apparatus, are described. The apparatus includes: a workpiece holder configured to support one or more workpieces, wherein the one or more workpieces having at least one substantially planar surface; an optional workpiece heating system configured to elevate the one or more workpieces to an anneal temperature; and a magnet assembly having a first magnet and a second magnet, the first and second magnets defining a gap between opposing poles of each magnet, wherein the magnet assembly is arranged to generate a magnetic field substantially perpendicular to the planar surface of the one or more workpieces.
(FR) L'invention concerne un appareil pour le recuit magnétique d'une ou de plusieurs pièces à usiner, et un procédé de fonctionnement de l'appareil. L'appareil comprend : un support de pièce à usiner configuré pour supporter une ou plusieurs pièces à usiner, l'une ou plusieurs pièces ayant au moins une surface sensiblement plane; un système facultatif de chauffage de pièce à usiner configuré pour élever l'une ou plusieurs pièces à usiner à une température de recuit; et un ensemble aimant ayant un premier aimant et un second aimant, les premier et second aimants définissant un espace entre des pôles opposés de chaque aimant, l'ensemble aimant étant agencé pour générer un champ magnétique sensiblement perpendiculaire à la surface plane de l'une ou plusieurs pièces à usiner.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 英語 (EN)
国際出願言語: 英語 (EN)