国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018124013) 酸化セリウム砥粒

Pub. No.:    WO/2018/124013    International Application No.:    PCT/JP2017/046533
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Dec 27 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/304
B24B 37/00
C09G 1/02
C09K 3/14
Applicants: KAO CORPORATION
花王株式会社
Inventors: KINUTA Koji
衣田幸司
OI Shin
大井信
Title: 酸化セリウム砥粒
Abstract:
一態様において、研磨速度を向上できる酸化セリウム砥粒の提供。 本開示は、一態様において、研磨剤に使用される酸化セリウム砥粒であって、酸化セリウム砥粒表面における{100}面の露出量が30%以上である、酸化セリウム砥粒に関する。