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1. (WO2018123836) 感光性樹脂組成物、硬化膜、積層体、硬化膜の製造方法、積層体の製造方法および半導体デバイス

Pub. No.:    WO/2018/123836    International Application No.:    PCT/JP2017/046051
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Dec 23 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 7/027
B32B 15/088
B32B 27/34
C08J 7/00
G03F 7/20
G03F 7/40
Applicants: FUJIFILM CORPORATION
富士フイルム株式会社
Inventors: IWAI Yu
岩井 悠
SHIBUYA Akinori
渋谷 明規
Title: 感光性樹脂組成物、硬化膜、積層体、硬化膜の製造方法、積層体の製造方法および半導体デバイス
Abstract:
光ラジカル重合によりパターンを形成できる感光性樹脂組成物であって、得られる硬化膜の破断伸び率が高い感光性樹脂組成物、ならびに、硬化膜、積層体、硬化膜の製造方法、積層体の製造方法および半導体デバイスの提供。 式(1)で表される繰り返し単位を含むポリイミド前駆体、および、光ラジカル重合開始剤を含む感光性樹脂組成物;式(1)中、A1およびA2は酸素原子またはNHを表し、R111は2価の有機基を表し、R115は4価の有機基を表し、R113およびR114は水素原子または1価の有機基を表す;R111、R113、R114およびR115の少なくとも1つの末端には式(2)で表される基が結合している;式(2)において、R1は、水素原子または置換基を表し、*はR111、R113、R114またはR115との結合部位である。