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1. (WO2018123715) 異物除去装置及び異物除去方法

Pub. No.:    WO/2018/123715    International Application No.:    PCT/JP2017/045465
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Dec 20 00:59:59 CET 2017
IPC: B08B 5/00
B08B 11/00
Applicants: HUGLE DEVELOPMENT INC.
ヒューグル開発株式会社
Inventors: KANBARA Koji
蒲原 康司
Title: 異物除去装置及び異物除去方法
Abstract:
【課題】フィルム状の枚葉体であっても安定的に異物除去が可能となる異物除去装置を提供するものである。 【解決手段】噴出スリット(112)を有するクリーニングヘッド(10)を備え、噴出スリット(112)から所定の動作流速にて噴出される流体を枚葉体(W)の表面に吹きつけて当該枚葉体Wの表面から異物を除去する異物除去装置であって、噴出スリット(112)からの流体の流速が前記動作流速より小さい状態で、クリーニングヘッド(10)を所定の動作位置にセットするヘッドセット機構(20、30a、30b)と、クリーニングヘッド(10)が前記動作位置にセットされた後、噴出スリット(112)から流体を前記動作流速にて噴出させた状態で、クリーニングヘッド(10)を枚葉体(W)の表面に対向させた状態を維持させつつ、クリーニングヘッド(10)と枚葉体(W)とを相対的に回転させる回転機構(21)とを有する構成となる。