国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018123621) 消耗判定方法及びプラズマ処理装置

Pub. No.:    WO/2018/123621    International Application No.:    PCT/JP2017/044933
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 15 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/3065
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
Inventors: KUSANO, Shu
草野 周
HIRAYAMA, Yusuke
平山 祐介
Title: 消耗判定方法及びプラズマ処理装置
Abstract:
フッ素ガスを含む複数のガスにより生成されたプラズマを用いて基板を処理する工程と、OES(Optical Emission Spectroscopy)の測定手段により、前記プラズマからフッ素ガスを含む複数のガスの発光強度を取得する工程と、フッ素ガスを含む複数のガスの発光強度と特定の消耗部材の消耗レートとを関連付けて記憶した記憶部を参照して、取得した前記フッ素ガスを含む複数のガスの発光強度から特定の消耗部材の消耗レートを算出する工程と、を有する消耗判定方法が提供される。