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1. (WO2018123537) 感放射線性組成物、パターン形成方法及び金属酸化物
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国際公開番号: WO/2018/123537 国際出願番号: PCT/JP2017/044367
国際公開日: 05.07.2018 国際出願日: 11.12.2017
IPC:
G03F 7/038 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
004
感光材料
038
不溶性又は特異的に親水性になる高分子化合物
出願人:
JSR株式会社 JSR CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区東新橋一丁目9番2号 9-2, Higashi-Shinbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058640, JP
発明者:
峯岸 信也 MINEGISHI Shinya; JP
白谷 宗大 SHIRATANI Motohiro; JP
浅野 裕介 ASANO Yusuke; JP
中川 恭志 NAKAGAWA Hisashi; JP
成岡 岳彦 NARUOKA Takehiko; JP
代理人:
天野 一規 AMANO Kazunori; JP
優先権情報:
2016-25542528.12.2016JP
発明の名称: (EN) RADIATION SENSITIVE COMPOSITION, PATTERN FORMING METHOD AND METAL OXIDE
(FR) COMPOSITION SENSIBLE AU RAYONNEMENT, PROCÉDÉ DE FORMATION DE MOTIF ET OXYDE MÉTALLIQUE
(JA) 感放射線性組成物、パターン形成方法及び金属酸化物
要約:
(EN) The purpose of the present invention is to provide a radiation sensitive composition which has excellent sensitivity. The present invention is a radiation sensitive composition which contains a metal oxide having a structural unit represented by formula (1) and a solvent. In formula (1), M represents a germanium, tin or lead; and R1 represents a monovalent organic group having 30 or less carbon atoms, which contains at least one group selected from among groups having an unsaturated bond and electron-withdrawing groups, and which is bonded to M by means of a carbon atom. It is preferable that the monovalent organic group represented by R1 contains a group having an unsaturated bond, and the group having an unsaturated bond is at least one group selected from among aromatic groups and ethylenic double bond-containing groups. It is also preferable that the monovalent organic group represented by R1 contains an electron-withdrawing group, and the electron-withdrawing group is at least one group selected from among a cyano group, a nitro group, halogenated alkyl groups, -COO- and cationic groups. The content of the metal oxide in terms of solid content is preferably 50% by mass or more.
(FR) L'objet de la présente invention est de fournir une composition sensible au rayonnement qui présente une excellente sensibilité. La présente invention concerne une composition sensible au rayonnement qui contient un oxyde métallique possédant une unité structurale représentée par la formule (1) et un solvant. Dans la formule (1), M représente le germanium, l'étain ou le plomb; et R1 représente un groupe organique monovalent possédant 30 atomes de carbone ou moins, qui contient au moins un groupe choisi parmi des groupes possédant une liaison insaturée et des groupes attracteurs d'électrons, et qui est lié à M au moyen d'un atome de carbone. Il est préférable que le groupe organique monovalent représenté par R1 contienne un groupe possédant une liaison insaturée et que le groupe possédant une liaison insaturée soit au moins un groupe choisi parmi des groupes aromatiques et des groupes contenant une double liaison éthylénique. Il est également préférable que le groupe organique monovalent représenté par R1 contienne un groupe attracteur d'électrons et que le groupe attracteur d'électrons soit au moins un groupe choisi parmi un groupe cyano, un groupe nitro, des groupes alkyles halogénés, -COO- et des groupes cationiques. La teneur en oxyde métallique en termes de teneur en éléments solides est de préférence de 50 % en masse ou plus.
(JA) 本発明は、感度に優れる感放射線性組成物の提供を目的とする。本発明は、下記式(1)で表される構造単位を有する金属酸化物と、溶媒とを含有する感放射線性組成物である。下記式(1)中、Mは、ゲルマニウム、スズ又は鉛である。Rは、不飽和結合を有する基及び電子求引性基のうち少なくとも1種を含み、Mに炭素原子で結合する炭素数30以下の1価の有機基である。上記Rで表される1価の有機基が不飽和結合を有する基を含み、この不飽和結合を有する基が、芳香族基及びエチレン性二重結合含有基のうち少なくとも1種であるとよい。上記Rで表される1価の有機基が電子求引性基を含み、この電子求引性基が、シアノ基、ニトロ基、ハロゲン化アルキル基、-COO-、及びカチオン性基のうち少なくとも1種であるとよい。上記金属酸化物の固形分換算での含有量としては、50質量%以上が好ましい。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)