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1. (WO2018123447) 弾性波装置、高周波フロントエンドモジュールおよび通信装置

Pub. No.:    WO/2018/123447    International Application No.:    PCT/JP2017/043419
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Dec 05 00:59:59 CET 2017
IPC: H03H 9/25
H03H 9/72
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: FUJIMORI, Eiji
藤森 永二
Title: 弾性波装置、高周波フロントエンドモジュールおよび通信装置
Abstract:
内部でのシグナル同士の干渉が抑制された弾性波装置を提供する。 少なくとも一部に圧電性を有する第1素子基板1および第2素子基板2と、第1素子基板1と第2素子基板2とを接合する接合層51~54と、を備え、第1素子基板に第1のIDT電極11~14、第1の配線電極31~34が形成され、第2素子基板2に第2のIDT電極21~24、第2の配線電極41~44が形成されている。第1の配線電極33と第2の配線電極41とが、接合層51を介して重なり、配線電極重畳部51Pが構成されている。同様に、配線電極重畳部52P~54Pが構成されている。各配線電極重畳部51P~54Pにおいて、第1の配線電極33(31、32、34)と第2の配線電極41(42、43、44)とは、一方がシグナル配線電極で他方がグランド配線電極であるか、グランド配線電極同士であるか、電位が同一のシグナル配線電極同士であるかのいずれかである。