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1. (WO2018123407) ガラス基板の検査方法および製造方法

Pub. No.:    WO/2018/123407    International Application No.:    PCT/JP2017/042790
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Nov 30 00:59:59 CET 2017
IPC: G01N 3/06
G01B 11/16
Applicants: NIPPON ELECTRIC GLASS CO., LTD.
日本電気硝子株式会社
Inventors: KAWAGUCHI Takahiro
川口 貴弘
KATO Yoshinari
加藤 嘉成
Title: ガラス基板の検査方法および製造方法
Abstract:
可撓性を有するガラス基板1の寸法変化を検査するに際し、ガラス基板1に複数のマーク2を形成するマーク形成工程P1と、マーク形成工程P1後のガラス基板1に応力を負荷する応力負荷工程P3と、応力負荷工程P3の前後におけるマーク2同士の相互間距離Lの変化から寸法変化を割り出す寸法変化割出工程PP(第1測定工程P2および第2測定工程P4)とを実行するようにした。また、当該検査方法を含めてガラス基板1を製造するようにした。