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1. (WO2018123035) ターゲット撮影装置及び極端紫外光生成装置
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国際公開番号: WO/2018/123035 国際出願番号: PCT/JP2016/089153
国際公開日: 05.07.2018 国際出願日: 28.12.2016
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20
露光;そのための装置
出願人:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
発明者:
細田 裕計 HOSODA, Hirokazu; JP
代理人:
松浦 憲三 MATSUURA, Kenzo; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) TARGET PHOTOGRAPHING APPARATUS AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION APPARATUS
(FR) APPAREIL PHOTOGRAPHIQUE CIBLE ET APPAREIL DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
(JA) ターゲット撮影装置及び極端紫外光生成装置
要約:
(EN) A target photographing apparatus according to one aspect of the present invention is provided with: a delay circuit that receives a timing signal from the outside, and outputs a first trigger signal at a timing delayed from the time of receiving the timing signal by a first delay time; an illumination light source that emits light on the basis of the first trigger signal; a photographing unit that is arranged so as to photograph an image of the shadow of a target through irradiation of the target to be observed with the light emitted from the illumination light source; a processing unit that carries out image processing including a process for measuring background luminance from the image photographed by the photographing unit; and a control unit that executes control for adjusting the first delay time on the basis of the background luminance.
(FR) L'invention concerne un appareil photographique cible qui selon un aspect comprend : un circuit de retard qui reçoit un signal de temporisation en provenance de l'extérieur, et délivre un premier signal de déclenchement à une temporisation retardée à partir du temps de réception du signal de temporisation par un premier temps de retard ; une source de lumière d'éclairage qui émet de la lumière sur la base du premier signal de déclenchement ; une unité de photographie qui est conçue pour photographier une image de l'ombre d'une cible par exposition de la cible à observer à la lumière émise par la source de lumière d'éclairage ; une unité de traitement qui réalise un traitement d'image comprenant un procédé de mesure d'une luminance d'arrière-plan à partir de l'image photographiée par l'unité de photographie ; et une unité de commande qui exécute une commande pour ajuster le premier temps de retard sur la base de la luminance d'arrière-plan.
(JA) 本開示の一観点に係るターゲット撮影装置は、外部からタイミング信号を受信し、タイミング信号の受信時から第1の遅延時間だけ遅延させたタイミングで第1のトリガ信号を出力する遅延回路と、第1のトリガ信号に基づいて発光する照明光源と、照明光源から発せられた光が観察対象であるターゲットに照射されることにより、ターゲットの影の像を撮影するよう配置された撮影部と、撮影部によって撮影された撮影画像から背景輝度を計測する処理を含む画像処理を行う処理部と、背景輝度に基づいて第1の遅延時間を調整する制御を行う制御部と、を備える。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)