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1. (WO2018122992) レジスト剥離液

Pub. No.:    WO/2018/122992    International Application No.:    PCT/JP2016/089014
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Dec 29 00:59:59 CET 2016
IPC: G03F 7/42
Applicants: PANASONIC INTELLECTUAL PROPERTY MANAGEMENT CO., LTD.
パナソニックIPマネジメント株式会社
Inventors: KITO Yusuke
鬼頭 佑典
FUCHIGAMI Shinichirou
淵上 真一郎
Title: レジスト剥離液
Abstract:
半導体装置等の製造プロセスでは、従来より高温度で硬化を行いレジストの硬化不良を回避している。したがって、従来より剥離力の強い剥離液が必要となる。 アミン類として一級若しくは二級アミンの少なくとも一方と、極性溶媒として、ジエチレングリコールモノエチルエーテル(EDG)と、プロピレングリコール(PG)と、水を含み、添加剤としてヒドラジンを含み、前記アミン類は、3.0質量%より多く、20.0質量%以下であり、前記ジエチレングリコールモノエチルエーテルは、39.5質量%より多く、59.5質量%以下であり、前記水は、5.18質量%より多く、28.18質量%未満であり、前記ヒドラジンは、0.064質量%より多く、1.28%以下あるレジスト剥離液は、高温ベークされたレジスト膜を剥離することができ、金属膜表面や断面への腐食も起こさず、また、再利用時の再生効率がよい。