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1. (WO2018122962) 基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム

Pub. No.:    WO/2018/122962    International Application No.:    PCT/JP2016/088898
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Dec 28 00:59:59 CET 2016
IPC: G06Q 10/00
Applicants: FUJI CORPORATION
株式会社FUJI
Inventors: MORITA Yukitoshi
森田 幸寿
Title: 基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム
Abstract:
基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム(1)は、複数の生産拠点(9)にそれぞれ設けられ、基板生産ライン(911、912、913)の稼動情報を集計して拠点情報を作成する複数の拠点集計部(2)と、複数の生産拠点に対応して設けられ、拠点集計部の拠点情報を伝送する複数の情報伝送部(3)と、複数の情報伝送部からそれぞれ受け取った拠点情報を集計して、全部の生産拠点の全部の基板生産ラインの稼動情報を集計した全体情報を作成する全体集計部(4)と、全部の生産拠点を複数のエリアに分割し、拠点情報および全体情報の少なくとも一方に基づいて、エリアごとに稼動情報に関する指標を求め、求めた複数の指標を出力するエリア比較出力部(5)と、を備える。