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1. (WO2018122953) 収差補正器および電子顕微鏡

Pub. No.:    WO/2018/122953    International Application No.:    PCT/JP2016/088875
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Dec 28 00:59:59 CET 2016
IPC: H01J 37/153
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社日立ハイテクノロジーズ
Inventors: NAKANO Tomonori
中野 朝則
Title: 収差補正器および電子顕微鏡
Abstract:
収差補正範囲が広く、制御が容易で高精度の収差補正が可能な、且つ低コストな収差補正器を提供するために、中心軸(201)に電子線を通す収差補正器において、中心軸からR1だけ離れた位置で光軸と平行に配置され、第一の多極子場を励起する第一電流線群(101-112)と、R2だけ離れた位置で光軸と平行に配置され、前記第一の多極子場とは異なる次数と強度である第二の多極子場を独立に励起する第二電流線群(21-32)とを備えた収差補正器とする。