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1. (WO2018117162) 透明AlN焼結体及びその製法

Pub. No.:    WO/2018/117162    International Application No.:    PCT/JP2017/045765
Publication Date: Fri Jun 29 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Dec 21 00:59:59 CET 2017
IPC: C04B 35/581
C04B 35/645
Applicants: NGK INSULATORS, LTD.
日本碍子株式会社
Inventors: KOBAYASHI, Yoshimasa
小林 義政
KOBAYASHI, Hiroharu
小林 博治
IIDA, Kazuki
飯田 和希
OHWADA, Iwao
大和田 巌
Title: 透明AlN焼結体及びその製法
Abstract:
透明AlN焼結体の製法の第1工程では、まず、板面がc面であり、アスペクト比が3以上の板状AlN粉末を含むAlN原料粉末に焼結助剤を混合した混合物を成形して成形体を作製する。このとき、板状AlN粉末の板面が成形体の表面に沿うように混合物を成形する。第2工程では、成形体の表面を加圧しながら非酸化雰囲気下、成形体をホットプレス焼成して配向AlN焼結体を得る。第3工程では、非酸化雰囲気下、配向AlN焼結体を常圧焼成して焼結助剤に由来する成分を除去することにより透明AlN焼結体を得る。