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1. (WO2018117161) 配向AlN焼結体及びその製法

Pub. No.:    WO/2018/117161    International Application No.:    PCT/JP2017/045764
Publication Date: Fri Jun 29 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Dec 21 00:59:59 CET 2017
IPC: C04B 35/581
Applicants: NGK INSULATORS, LTD.
日本碍子株式会社
Inventors: KOBAYASHI, Yoshimasa
小林 義政
KOBAYASHI, Hiroharu
小林 博治
IIDA, Kazuki
飯田 和希
Title: 配向AlN焼結体及びその製法
Abstract:
配向AlN焼結体の製法の第1工程では、板面がc面であり、アスペクト比が3以上、平均厚さが0.05~1.8μmの板状AlN粉末を含むAlN原料粉末に焼結助剤を混合した混合物を成形して成形体を作製する工程であって、前記板状AlN粉末の板面が前記成形体の表面に沿うように前記混合物を成形する。第2工程では、成形体の表面を加圧しながら非酸化雰囲気下、成形体をホットプレス焼成して配向AlN焼結体を得る。