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1. (WO2018117027) 洗浄装置、配線修正装置、および洗浄方法

Pub. No.:    WO/2018/117027    International Application No.:    PCT/JP2017/045331
Publication Date: Fri Jun 29 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Dec 19 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/304
B08B 7/00
C23C 16/48
H01L 21/3205
H01L 21/768
H01L 23/522
Applicants: V TECHNOLOGY CO., LTD.
株式会社ブイ・テクノロジー
Inventors: SUZUKI Yoshikazu
鈴木 良和
KUSUMI Yosuke
久住 庸輔
TANOOKA Daisuke
田ノ岡 大輔
Title: 洗浄装置、配線修正装置、および洗浄方法
Abstract:
配線のリペア処理後に不要付着物が付着した基板の表面に向けて液化炭酸ガスを噴射させて、液化炭酸ガスを断熱膨張によりドライアイス微粒子に変化させる液化炭酸ガス噴射ノズル12と、液化炭酸ガス噴射ノズル12から噴射されたドライアイス微粒子が衝突する基板の表面位置および表面状態を観察してドライアイス微粒子が衝突する不要付着物の位置を特定することを可能にする位置決め用観察カメラ13と、を備える。