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1. (WO2018116820) MEMSデバイス、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、MEMSデバイスの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、及び、液体噴射装置の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/116820    International Application No.:    PCT/JP2017/043687
Publication Date: Fri Jun 29 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Dec 06 00:59:59 CET 2017
IPC: B41J 2/14
B41J 2/16
B81B 7/02
Applicants: SEIKO EPSON CORPORATION
セイコーエプソン株式会社
Inventors: YAMADA Daisuke
山田 大介
TAKABE Motoki
▲高▼部 本規
MATSUMOTO Yasuyuki
松本 泰幸
NAGANUMA Yoichi
長沼 陽一
HIRAI Eiju
平井 栄樹
Title: MEMSデバイス、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、MEMSデバイスの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、及び、液体噴射装置の製造方法
Abstract:
信頼性を高めることができるMEMSデバイス、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、MEMSデバイスの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、及び、液体噴射装置の製造方法を提供する。 可撓変形可能な薄膜部材(振動板31)が積層された第1の基板(圧力室形成基板29)と、第1の基板(圧力室形成基板29)に対して間隔を空けて配置された第2の基板(封止板33)と、第1の基板(圧力室形成基板29)と第2の基板(封止板33)とを接着する接着層(43)と、を備え、第1の基板(圧力室形成基板29)の面内方向において、薄膜部材(振動板31)の端は、第1の基板(圧力室形成基板29)の端よりも外側まで延設されたことを特徴とするMEMSデバイス(記録ヘッド3)。