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1. (WO2018116717) 弾性波装置の製造方法、弾性波装置、高周波フロントエンド回路、及び通信装置

Pub. No.:    WO/2018/116717    International Application No.:    PCT/JP2017/041522
Publication Date: Fri Jun 29 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Nov 18 00:59:59 CET 2017
IPC: H03H 3/08
H03H 9/25
H03H 9/72
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: SAWAMURA, Makoto
澤村 誠
KAI, Seiji
甲斐 誠二
Title: 弾性波装置の製造方法、弾性波装置、高周波フロントエンド回路、及び通信装置
Abstract:
圧電基板の割れやチッピングが生じ難い弾性波装置の製造方法を提供する。 複数の弾性波装置構成部分2A~2DにそれぞれIDT電極3が設けられている圧電ウェハ1を用意する工程と、圧電ウェハ1の第1の主面1aに、複数の弾性波装置構成部分2A~2Dに複数の支持層7をそれぞれ設ける工程と、複数の支持層7を覆うように、カバー部材を接合し、積層体を得る工程と、積層体を第1の方向Xに沿って複数回切断する工程と積層体を第1の方向Xと直交する第2の方向Yに沿って切断し、個々の弾性波装置を得る工程とを備え、圧電ウェハ1の第1の主面1a上において、隣り合う弾性波装置構成部分2A~2D間の境界を跨ぐように樹脂層11が設けられており、該樹脂層11が存在している状態で第2の切断工程が行なわれる、弾性波装置の製造方法。